MS-510 维护手册Maintenance Manual-C - 第54页

XY θ 工作台部分 ＜ 传感器配置图 ／ Sensor location ＞ Meister MS-510 XY θ 工作台部分 ＜ 极限 ＞ ＜原点＞ LSB30 ＜极限＞ ＜原点＞ LSB40 ＜ 极限 ＞ LSB43 LSB41 ＜极限＞ LSB31 ＜极限＞ LSB33 θ轴 Y轴 轴 X 轴 LSB45 LSB44 LSB47 ＜极限＞ ＜原点＞ ＜极限＞ —4—