PTS-NXT-08JE - 第12页
5.2.1. M3S-Y SLIDE……………………………………………………………… … 320 5.2.1. M3S-Yスライド…………………………………………………… … 320 5.2.2. M6S-Y SLIDE……………………………………………………………… … 328 5.2.2. M6S-Yスライド…………………………………………………… … 328
2.4. MARK CAMERA LIGHT…………………………………………………………………
…
130 2.4. マークカメラライト………………………………………………………
…
130
2.5. PARTS CAMERA(SIDE LIGHT TYPE)…………………………………………………
…
132 2.5. パーツカメラ(サイドライト仕様)………………………………………
…
132
2.6. PARTS CAMERA LIGHT(SIDE LIGHT TYPE)…………………………………………
…
134 2.6. パーツカメラライト(サイドライト仕様)………………………………
…
134
2.7. PARTS CAMERA(HIGH RESOLUTION CAMERA)…………………………………………
…
136 2.7. パーツカメラ(高分解能カメラ)…………………………………………
…
136
2.8. PARTS CAMERA LIGHT(HIGH RESOLUTION CAMERA)…………………………………
…
138 2.8. パーツカメラライト(高分解能カメラ)…………………………………
…
138
3. BASE 3. ベース
3.1. BASE 3.1. ベース
3.1.1. 2M-BASE……………………………………………………………………
…
140 3.1.1. 2M-ベース…………………………………………………………
…
140
3.1.2. 2M-BASE CONTROL BOX……………………………………………………
…
170 3.1.2. 2M-ベース- コントロール BOX…………………………………
…
170
3.1.3. 4M-BASE……………………………………………………………………
…
180 3.1.3. 4M-ベース…………………………………………………………
…
180
3.2. EXTERNAL VACUUM PUMP………………………………………………………………
…
222 3.2. 増設バキュームポンプ……………………………………………………
…
222
3.3. BASE LINKING PARTS…………………………………………………………………
…
224 3.3. ベース連結部品……………………………………………………………
…
224
4. MODULE 4. モジュール
4.1. BED 4.1. ベッド
4.1.1. M3S-BED……………………………………………………………………
…
226 4.1.1. M3S-ベッド………………………………………………………
…
226
4.1.2. M6S-BED……………………………………………………………………
…
250 4.1.2. M6S-ベッド………………………………………………………
…
250
4.2. COVER 4.2. カバー
4.2.1. M3S-TOP COVER……………………………………………………………
…
274 4.2.1. M3S-トップカバー………………………………………………
…
274
4.2.2. M6S-TOP COVER……………………………………………………………
…
278 4.2.2. M6S-トップカバー………………………………………………
…
278
4.2.3. SIDE COVER-RIGHT…………………………………………………………
…
282 4.2.3. サイドカバー右…………………………………………………
…
282
4.2.4. SIDE COVER-LEFT…………………………………………………………
…
286 4.2.4. サイドカバー左…………………………………………………
…
286
4.2.5. SEAMLESS COVER-BETWEEN BASE…………………………………………
…
290 4.2.5. シームレスカバー ベース間……………………………………
…
290
4.2.6. SEAMLESS COVER-BETWEEN MODULE………………………………………
…
294 4.2.6. シームレスカバー モジュール間………………………………
…
294
4.2.7. SEAMLESS COVER-MODULE RIGHT SIDE……………………………………
…
296 4.2.7. シームレスカバー モジュール右側……………………………
…
296
4.2.8. SEAMLESS COVER-MODULE LEFT SIDE……………………………………
…
298 4.2.8. シームレスカバー モジュール左側……………………………
…
298
5. XY-ROBOT 5. ＸＹロボット
5.1. X SLIDE 5.1. X-スライド
5.1.1. M3S-X SLIDE………………………………………………………………
…
300 5.1.1. M3S-Xスライド……………………………………………………
…
300
5.1.2. M6S-X SLIDE………………………………………………………………
…
312 5.1.2. M6S-Xスライド……………………………………………………
…
312
5.2. Y SLIDE 5.2. Y-スライド
5.2.1. M3S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
320 5.2.1. M3S-Yスライド……………………………………………………
…
320
5.2.2. M6S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
328 5.2.2. M6S-Yスライド……………………………………………………
…
328
ＣＯＮＴＥＮＴＳ 目次
6. CONVEYOR 6. コンベア
6.1. SINGLE CONVEYOR 6.1. シングルコンベア
6.1.1. M3S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
16 6.1.1. M3S-シングルコンベア…………………………………………
…
16
6.1.2. M6S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
54 6.1.2. M6S-シングルコンベア…………………………………………
…
54
6.2. DOUBLE CONVEYOR 6.2. ダブルコンベア
6.2.1. M3S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
94 6.2.1. M3S-ダブルコンベア……………………………………………
…
94
6.2.2. M6S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
156 6.2.2. M6S-ダブルコンベア……………………………………………
…
156
6.3. AUTO BACK-UP PINS 6.3. 自動バックアップピン
6.3.1. M3S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
198 6.3.1. M3S-自動バックアップピン……………………………………
…
198
6.3.2. M6S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
200 6.3.2. M6S-自動バックアップピン……………………………………
…
200
6.3.3. M3S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
202 6.3.3. M3S-バックアップ プレート……………………………………
…
202
6.3.4. M6S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
208 6.3.4. M6S-バックアップ プレート……………………………………
…
208
6.4. SOFT BACK-UP PINS…………………………………………………………………
…
210 6.4. ソフトバックアップピン…………………………………………………
…
210
6.5. PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION 6.5. 基板停止位置補正機能
6.5.1. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION……………………………
…
212 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
212
6.5.2. M6S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION……………………………
…
214 6.5.2. M6S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
214
6.6. ROLLER CONVEYOR 6.6. ローラ搬送コンベア
6.6.1. M3S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)………………………………
…
216 6.6.1. M3S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
216
6.6.2. M3S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)………………………………
…
218 6.6.2. M3S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
218
6.6.3. M6S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)………………………………
…
220 6.6.3. M6S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
220
6.6.4. M6S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)………………………………
…
222 6.6.4. M6S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
222