PTS-NXT-08JE - 第349页
5.2.1. M3S-Y SLIDE……………………………………………………………… … 320 5.2.1. M3S-Yスライド…………………………………………………… … 320 5.2.2. M6S-Y SLIDE……………………………………………………………… … 328 5.2.2. M6S-Yスライド…………………………………………………… … 328
2.4. MARK CAMERA LIGHT…………………………………………………………………
…
130 2.4. マークカメラライト………………………………………………………
…
130
2.5. PARTS CAMERA(SIDE LIGHT TYPE)…………………………………………………
…
132 2.5. パーツカメラ(サイドライト仕様)………………………………………
…
132
2.6. PARTS CAMERA LIGHT(SIDE LIGHT TYPE)…………………………………………
…
134 2.6. パーツカメラライト(サイドライト仕様)………………………………
…
134
2.7. PARTS CAMERA(HIGH RESOLUTION CAMERA)…………………………………………
…
136 2.7. パーツカメラ(高分解能カメラ)…………………………………………
…
136
2.8. PARTS CAMERA LIGHT(HIGH RESOLUTION CAMERA)…………………………………
…
138 2.8. パーツカメラライト(高分解能カメラ)…………………………………
…
138
3. BASE 3. ベース
3.1. BASE 3.1. ベース
3.1.1. 2M-BASE……………………………………………………………………
…
140 3.1.1. 2M-ベース…………………………………………………………
…
140
3.1.2. 2M-BASE CONTROL BOX……………………………………………………
…
170 3.1.2. 2M-ベース- コントロール BOX…………………………………
…
170
3.1.3. 4M-BASE……………………………………………………………………
…
180 3.1.3. 4M-ベース…………………………………………………………
…
180
3.2. EXTERNAL VACUUM PUMP………………………………………………………………
…
222 3.2. 増設バキュームポンプ……………………………………………………
…
222
3.3. BASE LINKING PARTS…………………………………………………………………
…
224 3.3. ベース連結部品……………………………………………………………
…
224
4. MODULE 4. モジュール
4.1. BED 4.1. ベッド
4.1.1. M3S-BED……………………………………………………………………
…
226 4.1.1. M3S-ベッド………………………………………………………
…
226
4.1.2. M6S-BED……………………………………………………………………
…
250 4.1.2. M6S-ベッド………………………………………………………
…
250
4.2. COVER 4.2. カバー
4.2.1. M3S-TOP COVER……………………………………………………………
…
274 4.2.1. M3S-トップカバー………………………………………………
…
274
4.2.2. M6S-TOP COVER……………………………………………………………
…
278 4.2.2. M6S-トップカバー………………………………………………
…
278
4.2.3. SIDE COVER-RIGHT…………………………………………………………
…
282 4.2.3. サイドカバー右…………………………………………………
…
282
4.2.4. SIDE COVER-LEFT…………………………………………………………
…
286 4.2.4. サイドカバー左…………………………………………………
…
286
4.2.5. SEAMLESS COVER-BETWEEN BASE…………………………………………
…
290 4.2.5. シームレスカバー ベース間……………………………………
…
290
4.2.6. SEAMLESS COVER-BETWEEN MODULE………………………………………
…
294 4.2.6. シームレスカバー モジュール間………………………………
…
294
4.2.7. SEAMLESS COVER-MODULE RIGHT SIDE……………………………………
…
296 4.2.7. シームレスカバー モジュール右側……………………………
…
296
4.2.8. SEAMLESS COVER-MODULE LEFT SIDE……………………………………
…
298 4.2.8. シームレスカバー モジュール左側……………………………
…
298
5. XY-ROBOT 5. ＸＹロボット
5.1. X SLIDE 5.1. X-スライド
5.1.1. M3S-X SLIDE………………………………………………………………
…
300 5.1.1. M3S-Xスライド……………………………………………………
…
300
5.1.2. M6S-X SLIDE………………………………………………………………
…
312 5.1.2. M6S-Xスライド……………………………………………………
…
312
5.2. Y SLIDE 5.2. Y-スライド
5.2.1. M3S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
320 5.2.1. M3S-Yスライド……………………………………………………
…
320
5.2.2. M6S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
328 5.2.2. M6S-Yスライド……………………………………………………
…
328
ＣＯＮＴＥＮＴＳ 目次
7. PARTS SUPPLY 7. 部品供給
7.1. DEVICE PALLET 7.1. デバイスパレット
7.1.1. M3S-DEVICE BASE…………………………………………………………
…
16 7.1.1. M3S-デバイス ベース……………………………………………
…
16
7.1.2. M3S-DEVICE PALLET………………………………………………………
…
22 7.1.2. M3S-デバイス パレット…………………………………………
…
22
7.1.3. M3S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
…
28 7.1.3. M3S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)……
…
28
7.1.4. M3S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
…
34 7.1.4. M3S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
34
7.1.5. M6S-DEVICE BASE…………………………………………………………
…
36 7.1.5. M6S-デバイスベース……………………………………………
…
36
7.1.6. M6S-DEVICE PALLET………………………………………………………
…
44 7.1.6. M6S-デバイス パレット…………………………………………
…
44
7.1.7. M6S-DEVICE PALLET(PALLET WITH BUCKET)……………………………
…
50 7.1.7. M6S-デバイス パレット(バケット付きパレットタイプ)……
…
50
7.1.8. M6S-DEVICE PALLET GUIDE………………………………………………
…
58 7.1.8. M6S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
58
7.2. TRAY UNIT-L 7.2. トレイユニット-L
7.2.1. TRAY UNIT-L SHIFTER ……………………………………………………
…
60 7.2.1. トレイユニット-L シフタ部 …………………………………
…
60
7.2.2. TRAY UNIT-L TOWER ………………………………………………………
…
76 7.2.2. トレイユニット-L タワー部 …………………………………
…
76
7.2.3. TRAY UNIT-L COVER ………………………………………………………
…
102 7.2.3. トレイユニット-L カバー部 …………………………………
…
102
7.2.4. TRAY UNIT-L BODY ………………………………………………………
…
106 7.2.4. トレイユニット-L 本体部 ……………………………………
…
106
7.2.5. TRAY UNIT-L REJECT PARTS CONVEYOR …………………………………
…
116 7.2.5. トレイユニット-L NGパーツ排出ユニット部 ………………
…
116
7.2.6. TRAY UNIT-L TRAY PALLET ………………………………………………
…
120 7.2.6. トレイユニット-L トレイパレット部 ………………………
…
120
7.2.7. TRAY UNIT-L PNEUMATIC CIRCUIT DIAGRAM ……………………………
…
122 7.2.7. トレイユニット-L エアー配管図 ……………………………
…
122
7.2.8. TRAY UNIT-L REMOVER ……………………………………………………
…
126 7.2.8. トレイユニット-L リムーバ …………………………………
…
126
7.3. WASTE TAPE PROCESSING UNIT 7.3. 残テープ処理ユニット
7.3.1. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT………………………………………
…
134 7.3.1. M3S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
134
7.3.2. M3S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS………………………
…
138 7.3.2. M3S-残テープ処理ユニット ダクト……………………………
…
138
7.3.3. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT………………………………………
…
142 7.3.3. M6S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
142
7.3.4. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS………………………
…
146 7.3.4. M6S-残テープ処理ユニット ダクト……………………………
…
146
7.3.5. M6S-WASTE TAPE PROCESSING UNIT ATTACHMENTS(for TRAY UNIT)…
…
150 7.3.5. M6S-残テープ処理ユニット ダクト(トレイユニット用)……
…
150
7.3.6. WASTE TAPE BOX……………………………………………………………
…
154 7.3.6. 残テープボックス………………………………………………
…
154
7.4. TRAY UNIT-M…………………………………………………………………………
…
156 7.4. トレイユニット-M…………………………………………………………
…
156
8. ACCESSORIES 8. アクセサリ