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6.5.1. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能 No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Materials Remarks 番号 図番 & コード番号 個数 品名 規格 材質 備考 1 AA2MZ02 1 PLATE プレート OT 2 PZ21051 1 SHEET シート OT…

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6. CONVEYOR / コンベア 212 PTS-NXT-08JE

6.5.1. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION
6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating
Materials
Remarks
番号 図番 & コード番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 AA2MZ02 1 PLATE プレート OT
2 PZ21051 1 SHEET シート OT
3 PB49701 1 PLATE プレート FE
4 PZ21041 3 MAGNET マグネット OT
5 AA2NS02 1 PLATE プレート OT
6 PZ21380 1 SHEET シート OT
7 PB50091 1 BKT BKT FE
8 H5275A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X008 FE
9 W1021A 2 WASHER, LOCK ワッシャ スプリング 3M/M FE
10 W1040A 2 WASHER, FLAT ワッシャ 平 3M/MX0.5X7 FE
11 AA2SG00 1 PLATE プレート OT
12 PZ21380 1 SHEET シート OT
13 PB51660 1 BKT BKT FE
14 H5275A 2 BOLT, HEX SOCKET ボルト 六角穴 M03X008 FE
15 W1021A 2 WASHER, LOCK ワッシャ スプリング 3M/M FE
16 W1040
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2 WASHER, FLA
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ワッシャ 平 3M/MX0.5X7 FE
6. CONVEYOR / コンベア 213 PTS-NXT-08JE

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6. CONVEYOR / コンベア 214 PTS-NXT-08JE