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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-02M-00 概要 2-1-6 -11 ユニット別定期点検箇所 6 ＜装着ヘッド＞ (オプション) メンテナンス 編 2-1-6 3 ノズルヘッド ■ 3 ノズルヘッド ■ノズル ■ノズルホルダー ■ノズルチェンジャー クランプ爪 クランプ爪押さえ用 スプリング テーパー面 ノズル反射板接触面 真空エア経路 θ 軸ベルト ノズル反射板 ノズルフランジ面 (2D コードあり ) ノズル先端部