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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-06M-00 6-7 -2 5 6 0 時 間 メ ン テ ナ ン ス 4 カバーからフィ ルターを取り外 して清掃する ●エアガンを使用する。 ●有機溶剤は使用しない。 フィルター 5 フィルターをカ バーに取り付け る フィルターエレメン トを取り出し、清掃する ①フィルタユニットを分解す る。 ②エアガンを使って、フィル ターエレメントのほこりな どを取り除く。 ( 有機溶剤を使用しない ) ③…
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06M-00
真空ポンプフィルターの清掃方法を説明します。
使用工具：六角レンチ (4 mm) 所要時間：30 分
●作業中は、頭を打たないよう注意してください。
真空ポンプフィルターの清掃
6-7-1
メンテナンス
編
6-7
1
7
カバーを
取り付ける
カバー
2
後側の交換台車、
またはトレイ
フィーダーを取り
外す
●取り外し方法
8
後側の交換台車、
またはトレイ
フィーダーを取り
付ける
●取り付け方法
●ねじ(6本)
(後側)
主電源スイッチを
OFFにし、鍵をか
ける
9
ON
鍵を外して
・交換台車の場合
(→P.3-2)
・トレイフィーダーの場合
(→P.14-8)
・交換台車の場合
(→P.3-2)
・トレイフィーダーの場合
(→P.14-8)
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06M-00
6-7-2
5
6
0
時
間
メ
ン
テ
ナ
ン
ス
4
カバーからフィ
ルターを取り外
して清掃する
●エアガンを使用する。
●有機溶剤は使用しない。
フィルター
5
フィルターをカ
バーに取り付け
る
フィルターエレメントを取り出し、清掃する
①フィルタユニットを分解す
る。
②エアガンを使って、フィル
ターエレメントのほこりな
どを取り除く。
(有機溶剤を使用しない)
③フィルターユニットを元通
りに組み立てる。
6
ヘッド
フィルターエレメント
Oリング
フィルターケース
リング
真空ポンプ
3
カバーを取り外す
●ねじ(6本)
(後側)
カバー
NPM-W2 EJM7DJ-MB-06M-00
安全スイッチの点検
1
前側の非常停止スイッチを押す。
3
後側の非常停止スイッチを押して、
前側と同様に画面が遷移することを
確認する。
6-8-1
メンテナンス
編
6-8
非常停止スイッチの点検
非常停止スイッチの点検方法を説明します。
使用工具：不要 所要時間：2 分
●あらかじめ原点復帰を行ってください。
2
左の画面に遷移することを確認する。
2
左の画面に遷移することを確認する。
+