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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-11M-00 11 - 1 -5 ヘッド交換したら、必ずキャリブレーションと精度 検証をしてください。 メンテナンス 編 11 - 1 ヘッドとノズルチェンジャー の交換 3 キャリブレーション STEP 項目 動作 参照 STEP2 ヘッド / 面補正 Z 高さ計測 ( → P.13-1-2 、 13-4) 捨て打ちユニット高さ *1) ( → P.13-1-2 、 13-4) STEP3 ジグステ…

NPM-W2 EJM7DJ-MB-11M-00
4
ヘッドを手前に引き寄せ、コネクターを挿入
する
コネクター
11-1-4
7
お願い
8ノズルヘッド、または3ノズル
ヘッドでBGA、CSPを装着する
ときは、マルチ認識カメラユニッ
トに側方照明が取り付いているこ
とを確認してください。
側方照明
マルチ認識カメラユニット
ヘッドプレート
●ヘッドストッパー
:左右2か所
ヘッドストッパー
●ヘッド上部の取手を持ち、カバーとの干渉に注意しながら
ヘッドストッパーをX軸プレートに引っかける。
●取り付け面に異物がないことを、事前に確認する。
X軸プレート
3
ヘッドを取り付ける
8
6
ノズルチェン
ジャーを交換する
●取り付けたヘッドに対応す
るノズルチェンジャーに交
換する。
●塗布ヘッドのときは、捨て
打ちユニットに交換する。
●検査ヘッドのときは、校正
ジグに交換する。
ON

NPM-W2 EJM7DJ-MB-11M-00
11-1-5
ヘッド交換したら、必ずキャリブレーションと精度検証をしてください。
メンテナンス
編
11-1
ヘッドとノズルチェンジャー
の交換 3
キャリブレーション
STEP
項目 動作 参照
STEP2
ヘッド/面補正Z
高さ計測 (→P.13-1-2、13-4)
捨て打ちユニット高さ
*1)
(→P.13-1-2、13-4)
STEP3
ジグステーション
スキャン位置
*2)
(→P.13-1-2、13-10)
ヘッドオフセット
*2)
(→P.13-1-2、13-10)
塗布ヘッド
(オプション)
*1)
ヘッドθ軸原点 (→P.13-1-2、13-12)
ヘッドオフセット (→P.13-1-2、13-12)
精度検証
*3)
装着精度 反映 (→P.13-1-2、13-20)
装着精度 検証 (→P.13-1-2、13-20)
*1):オプションユニットのある設備のみ実施
*2):塗布ヘッドのときは実施しない
*3):塗布ヘッドのときは塗布ヘッド精度 反映(オプション)、塗布ヘッド精度 検証(オプション)を実施

NPM-W2 EJM7DJ-MB-11M-00
11-1-6
旧タイプのヘッドについて
旧タイプのヘッドはボルト3か所にてヘッドの固定を行います。(現行ヘッドはボルト4か所での固定。)
現行ヘッドと旧タイプのヘッドの違いは下記を参照してください。
また、NPM-W2に旧タイプのヘッドを取り付ける場合には、使用しない固定ボルトを取り外す作業が必要と
なります。詳細は次ページ以降を参照してください。
■現行ヘッドの場合
■旧タイプのヘッドの場合
ねじ穴
穴なし
ヘッド取り付け面から見
て左下部がねじ穴
ヘッド取り付け面から見
て左下部が穴なし、また
は丸穴
丸穴