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NPM-W 2 EJM7DJ-MB-13M-00 13-21-1 -8 概略工程 検査ヘッドの精度測定と、その測定 結果を用いた検査カメラオフセ ットの更新手順を説明します。計測 には、 面補正ジグを使用します。 ●面補正ジグは、前工程から挿入、抜取りを行いま すので、前工程の搬送コン ベヤーの幅を面補正ジグの幅 に調整してください。 検査ヘッド精度検証および検査カメラオ フセットの登録には、専用の MCDATA ( 生産プログラム )…
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13-21-1-7
精度検証
概要 4
(検査ヘッド)
メンテナンス
編
13-21-1
精度検証について
精度検証を行うにあたり、ご注意いただきたい内容について説明します。
■MCDATAの種類
精度検証には、専用のMCDATA(生産プログラム)を使用します。
検査の精度検証に使用するMCDATAには、以下の2種類があります。
オフセット反映MCDATA
*データ名に“TSEIDO”が入っ
ているもの
検査ヘッドが面補正ジグ上にある直径2 mmの丸の検査を行い、設計
座標と実座標のずれ量を測定します。
測定結果から得た検査カメラオフセットを検査ヘッドに反映させる際
に使用します。
精度検証MCDATA
*データ名に“SKEN”が入って
いるもの
検査ヘッドが面補正ジグ上にある部品模様の検査を行い、設計座標と
実座標のずれ量を測定します。
MCDATAファイル名称
W2 - I09 - ALL - SKEN - L1*** - B510
①
②
③④ ⑤
① 設備名
W2 (NPM-W2)
② ヘッド構成
L16:軽量16ノズル／M12:12ノズル／M08:8ノズル／M03:3ノズル／NON:ヘッド無
／I18:検査ヘッド18 μm／I09:検査ヘッド9 μm／D02:塗布ヘッド／ALL(全ヘッド):検
査ヘッドのみの検証を実施するときに使用、対向ヘッドの種類は不問
③ モード TSEIDO:オフセット反映用／SKEN:精度確認用
④ 使用レーン
L1：レーン1
※***部分（データ名に”SKEN”が入っているもののみ）
SL：基板認識2点／SS：パターン認識
(後側にRがある場合は第1装着位置、Ｌは第2装着位置)
⑤ 基板サイズ(基板サイズの前に”REV”がある場合は、右→左流れのMCDATAになります)
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概略工程
検査ヘッドの精度測定と、その測定結果を用いた検査カメラオフセットの更新手順を説明します。計測には、
面補正ジグを使用します。
●面補正ジグは、前工程から挿入、抜取りを行いますので、前工程の搬送コンベヤーの幅を面補正ジグの幅
に調整してください。
検査ヘッド精度検証および検査カメラオ
フセットの登録には、専用のMCDATA
(生産プログラム) を使用します。
検査カメラオフセットを反映すると、設
備内のマシンパラメーターを書き換えま
す。
●安全のために、事前に現在のデータを
保存しておくことをお勧めします。
■作業工程
(→『操作編』P.2-3-4)
MCDATA(生産プログラム)
●検査ヘッドは2種あります。(18 μm、9 μm)
●検査ヘッドが有る場合の供給部は、後側のみになります。
前側：検査BOX(I)
後側：テープフィーダー(F)、シングルトレイフィーダー(FT)
*1)
、またはツイントレイフィーダー(TT)
●ヘッドパターンで、たとえば9I-8Fとは前側：9 μm検査ヘッド、後側：8ノズルヘッド、テープフィー
ダー供給部を示します。同様に18I-3FTは、前側：18 μm検査ヘッド、後側：3ノズルヘッド、シングルト
レイフィーダー供給部
*1)
を示します。
装着ヘッド精度検証時ヘッ
ドパターン
9I-LW16F 18I-LW16F
9I-12F 18I-12F
9I-8F 18I-8F
9I-3F 18I-3F
9I-8FT(TT) 18I-8FT(TT)
9I-3FT(TT) 18I-3FT(TT)
9I-8FT(TT) 18I-8FT(TT)
9I-3FT(TT) 18I-3FT(TT)
■主なヘッドおよび供給部の構成(代表例)
1.生産準備
・キャリブレーションDATA (DVD-ROM)
をSDカードへ保存
・面補正ジグのセット
・生産動作の設定
3.精度検証結果の
確認
・MCDATA (生産プログラム) の
選択
・計測
・計測結果の確認
2.計測確認と反映
・MCDATA (生産プログラム) の
選択
・計測
・計測結果の確認と反映
(オフセット登録)
LW16：軽量16ノズルヘッド
F：テープフィーダー仕様
FT：シングルトレイフィーダー仕様
*1)
TT：ツイントレイフィーダー仕様
後側ALL以外：装着精度の検証を行う
(→P.13-21-1-1)
検査ヘッド精度検証時
ヘッドパターン
9I-ALL 18I-ALL
後側ALL：検査ヘッドの精度
検証を行う
■検証の順番
2D検査ヘッド
①第1装着位置 オフセット反映用MCDATA
②第1装着位置 精度確認用MCDATA
③第2装着位置 精度確認用MCDATA
装着ヘッド
①キャリブレーションSTEP2～STEP4
(→P13-1-2)
②精度検証
(→P13-21-1)
) 13連供給ユニット + シングルトレ
イフィーダーを取り付けた仕様。
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精度検証
概要 5
(検査ヘッド)
メンテナンス
編
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MCDATA (生産プログラム) は、設備付属のDVD-ROM (マシンシステム / 認識 / LNBシステムディスク) に
保存されています。
DVD-ROMに同封されているMCDATA一覧のシートを参照し、設備タイプに合わせてMCDATAを選んでく
ださい。その後SDカードにコピーして、設備に読み込ませてください。
SDカードは、お客様でご準備願います。
一度設備に読み込んだMCDATAをSDカードに上書き保存すると、 SDカードの該当するMCDATAが機能し
なくなります。誤って上書きをしたときは、DVD-ROMからコピーしてください。
ヘッド載せ換えなどにより、MCDATA一覧にない構成で精度検証を行う必要かあるときは、当社にご連絡
ください。
お願い