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7 Vorbeugende Instandhaltung 7.2 Übersicht der Instandhaltungsaufgaben 84 Betriebsanleitung ASM ProcessLens Dual-lane 06/2018
7 Vorbeugende Instandhaltung
7.2 Übersicht der Instandhaltungsaufgaben
Betriebsanleitung ASM ProcessLens Dual-lane 06/2018 83
7.2 Übersicht der Instandhaltungsaufgaben
Instandhaltungsaufgaben - Workflow Workflow 1 Workflow 2 Workflow 3 Workflow 4
Instandhaltungsaufgaben (wöchentlich)
Lüfter an der Maschine prüfen und reini-
gen
X X X X
Magnetflächen an den X- und Y-Achsen
prüfen/reinigen
X X X X
Vakuumtransport X X X X
Instandhaltungsaufgaben (3-monatlich)
Y1 Portalauflage reinigen X
Schmiersystem Y-Achse tauschen X
Instandhaltungsaufgaben (6-monatlich)
Sechskantwellen reinigen und konservie-
ren
X
Kugelumlaufspindel reinigen und konser-
vieren
X
Transport-Führungswellen reinigen und
konservieren
X
Transport-Linearführung reinigen und
konservieren
X
Instandhaltungsaufgaben (12-monatlich)
Sicherheitseinrichtungen prüfen X
Schutzhauben reinigen X
Gasdruckfedern an den Schutzhauben
prüfen/reinigen/tauschen
X
Linearführungen der X-Achse reinigen X
Linearführungen der Y-Achse reinigen X
Führungslager der X-Achse fetten X
Führungslager der Y-Achse fetten X
Zielhöhe kontrollieren (Golden Unit) X
7 Vorbeugende Instandhaltung
7.2 Übersicht der Instandhaltungsaufgaben
84 Betriebsanleitung ASM ProcessLens Dual-lane 06/2018