KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第547页
8 - 26 8-3-2. 搬送系自動制御 搬送系自動制御 搬送系自動制御 搬送系自動制御 ［制御 （ C ） ］ ［搬送系 （ C ） ］ ［自動制御 （ A ） ... ］ を選択すると、 下記の搬送系自動制御のダイア ログが表示されます。 図 図 図 図 8-3-2 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． KE-2030 ）…
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7) 搬送モータ（センタバッファ）
搬送モータ（センタバッファ）の ON／OFF を制御します。
制御項目の“搬送モータ（センタバッファ）”がチェックされているときに＜ON（O
）＞ボタン、＜OFF（F）＞ボ
タン、＜ON／OFF（/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、Ｆ５キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
8) 搬送モータ（アウトバッファ）
搬送モータ（アウトバッファ）の ON／OFF を制御します。
制御項目の“搬送モータ（アウトバッファ）”がチェックされているときに＜ON（O
）＞ボタン、＜OFF（F）＞ボ
タン、＜ON／OFF（/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、Ｆ５キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
9) バックアッププレートストッパー
バックアッププレートストッパーの ON／OFF を制御します。
制御項目の“バックアッププレートストッパー”がチェックされているときに＜ ON（O
）＞ボタン、＜ OFF（L）
＞ボタン、＜ON／OFF（/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、 F5 キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
10) 入口側シャッターシリンダ
入口側シャッターシリンダの開／閉を制御します。
制御項目の“入口側シャッターシリンダ”がチェックされているときに＜開（O
）＞ボタン、＜閉（L）＞ボタン、
＜開／閉（/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、 F5 キーを押して制御します。
◇ 状態表示は、制御完了時に更新されます。
11) 出口側シャッターシリンダ
出口側シャッターシリンダの開／閉を制御します。
制御項目の“出口側シャッターシリンダ”がチェックされているときに＜開（O
）＞ボタン、＜閉（L）＞ボタン、
＜開／閉（/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、 F5 キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
12) チエックシリンダ
チエックシリンダの ON／OFF を制御します｡ KE-2030 以外の機種では設定できません。
制御項目の“チエックシリンダ”がチェックされているときに＜ON（O
）＞ボタン、＜OFF（L）＞ボタン;＜ON/OFF
（L）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、 F5 キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
(4)状態表示
各センサ、各ユニットの状態を制御完了時に表示します。
各センサ、各信号、各ユニットの状態を連続表示します。
注意
注意注意
注意
:
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8-3-2.
搬送系自動制御
搬送系自動制御搬送系自動制御
搬送系自動制御
［制御（
C
）］［搬送系（
C
）］［自動制御（
A
）
...
］を選択すると、下記の搬送系自動制御のダイア
ログが表示されます。
図
図図
図
8-3-2
搬送系自動制御ダイアログ（表示例．
搬送系自動制御ダイアログ（表示例．搬送系自動制御ダイアログ（表示例．
搬送系自動制御ダイアログ（表示例．
KE-2030
）
））
）
*
１：“制御項目（基板移動クランプ）”“基板ステーション間移動制御”“制御位置”
は、
KE-2030
のみ表示されます。
(1)
制御項目
制御項目をラジオボタンにより選択します。
(2)
位置決め方式
位置決め方式をラジオボタンにより選択します。
◆
制御項目（図
8-3-2
ダイアログ参照）で“初期化”“基板搬出”“基板固定解除”“基板
WAIT/OUT
センサチェック”が選択されているときは、設定できません。
注意
注意注意
注意
:
*
*
*
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(3)
基板ステーション間移動制御
基板ステーション間移動の制御をラジオボタンにより選択します。
制御項目で［初期化］［基板搬出］［基板固定解除］が選択されているときには、設定できません。
KE-2030
以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(4)
制御位置
制御時の位置をラジオボタンにより選択します。
制御項目で“初期化”が選択されているときは，設定できません。
KE-2030
以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(5)
制御ボタン
制御ボタンにより制御項目を実行します。
1)
初期化
基板搬送を初期化します。
制御項目の“初期化”がチェックされているときに＜実行（
E
）＞ボタンを選択するかまたは、
Ｆ３キーを押して制御します。
2)
基板ロード
位置決め方式で指定された方式により基板をロードします。
制御項目の“基板ロード”がチェックされているときに＜実行（
E
）＞ボタンを選択するかま
たは、Ｆ３キーを押して制御します。
3)
基板搬出
基板を搬出します。
制御項目の“基板搬出”がチェックされているときに＜実行（
E
）＞ボタンを選択するかまた
は、Ｆ３キーを押して制御します。
4)
基板固定解除
基板の固定を解除します。
制御項目の“基板固定解除”がチェックされているときに＜実行（
E
）＞ボタンを選択するか
または、Ｆ３キーを押して制御します。
注意
注意注意
注意
:
注意
注意注意
注意
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