KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第555页
8 - 34 8-3-5. 基板吸着制御 基板吸着制御 基板吸着制御 基板吸着制御 [ 制御 （ C ） ][ 搬送系 （ C ） ] [ 基板吸着制御 （ P ） ...] を選択すると、 下記の基板吸着制御のダイアログが 表示されます。 図 図 図 図 8-3-5 基板吸着制御ダイアログ（表示例． 基板吸着制御ダイアログ（表示例． 基板吸着制御ダイアログ（表示例． 基板吸着制御ダイアログ（表示例． KE-2020 ） ）…
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2)
原点復帰
可動ステーションの原点復帰します。
制御項目の“原点復帰”がチェックされているときに＜実行（
1
）＞ボタンを選択するかまた
は，Ｆ３キーを押して制御します。
3)
可動ステーション移動
可動ステーションを移動します。
制御項目の“可動ステーション移動”がチェックされているときに＜実行（
1
）＞ボタンを選
択するかまたは，Ｆ３キーを押して制御します。
(3)
状態表示
各ユニットの状態を制御完了時に表示します。
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8-3-5. 基板吸着制御
基板吸着制御基板吸着制御
基板吸着制御
[
制御（
C
）
][
搬送系（
C
）
] [
基板吸着制御（
P
）
...]
を選択すると、下記の基板吸着制御のダイアログが
表示されます。
図
図図
図
8-3-5
基板吸着制御ダイアログ（表示例．
基板吸着制御ダイアログ（表示例．基板吸着制御ダイアログ（表示例．
基板吸着制御ダイアログ（表示例．
KE-2020
）
））
）
ＫＥ−２０３０を除く機種に適用します。
(1)
制御項目
制御項目をラジオボタンにより選択します。
注意
注意注意
注意
:
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（
2
）制御ボタン
制御ボタンにより制御項目を実行します。
制御ボタンの表示は、制御項目により異なります。
1
）バキューム制御
バキュームテーブルのバキュームの
ON
／
OFF
を制御します。
制御項目の“シリンダ制御”がチェックされているときに＜
ON
（
O
）＞ボタン、＜
OFF
（
F
）
＞ボタン、＜
ON
／
OFF
（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、
F3
キー、
F4
キー、
F5
キーを
押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
2
）ブロー制御
バキュームテーブルのブローの
ON
／
OFF
を制御します。
制御項目の“シリンダ制御”がチェックされているときに＜
ON
（
O
）＞ボタン、＜
OFF
（
F
）
＞ボタン、＜
ON
／
OFF
（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、
F3
キー、
F4
キー、
F5
キーを
押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
3
）バックアップ
バックアップテーブルの上／下を制御します。
制御項目の“バックアップテーブル”がチェックされているときに＜上（
U
）＞ボタン、＜下
（
D
）＞ボタン、＜上／下（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、
F3
キー、
F4
キー、
F5
キー
を押して制御します。
（
3
）状態表示
各ユニットの状態を制御完了時に表示します。