KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第697页
13 - 28 13-4-6. バックアップテーブル バックアップテーブル バックアップテーブル バックアップテーブル ＊ 印ボールねじ軸３箇所全面にグリスを塗布します。 バックアップテーブルを手で持ち上げて両脇から塗布します。 危険 不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。 13-4-7. 基板搬送可動テーブル 基板搬送可動テーブル 基板搬送可動テーブル 基板搬送可動テーブル ボールねじ・ＬＭガイド ボー…
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13-4-5. ボールねじとリニアウ
ボールねじとリニアウボールねじとリニアウ
ボールねじとリニアウ
エ
エエ
エ
イ（ヘッド部）
イ（ヘッド部）イ（ヘッド部）
イ（ヘッド部）
ボールねじとリニアウ
エ
イのレールにグリス
(
Ｃグリス
)
を薄く塗布して下さい。
スプラインシャフト軸ににグリス
(
Ｃグリス
)
を薄く塗布して下さい。
塗布後は，
Z
軸を手で動かしてグリスを充分なじませて下さい。
なじんだ後，余分なグリスを飛散防止のため拭き取って下さい
① ボルねじ
② リニアウ
エ
イ
③ スプラインシャフト
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
①
②
③
注意
注意注意
注意
:
グリス
(
Ｃグリス
)
以外のグリスを塗布しないで下さい。
異なるグリスと混ざると，グリスが分離して垂れてくる
場合があります。
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13-4-6. バックアップテーブル
バックアップテーブルバックアップテーブル
バックアップテーブル
＊
印ボールねじ軸３箇所全面にグリスを塗布します。
バックアップテーブルを手で持ち上げて両脇から塗布します。
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
13-4-7. 基板搬送可動テーブル
基板搬送可動テーブル基板搬送可動テーブル
基板搬送可動テーブル
ボールねじ・ＬＭガイド
ボールねじ・ＬＭガイドボールねじ・ＬＭガイド
ボールねじ・ＬＭガイド
グリス
(
Ｃグリス
)
以外のグリスを塗布しないで下さい
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
注意
注意注意
注意
:
グリス
(
Ｃグリス
)
グリス
(
Ｃグリス
)
グリス
(
Ｃグリス
)
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13-4-8. 一括交換台（オプション）
一括交換台（オプション）一括交換台（オプション）
一括交換台（オプション）
バンクロケートピン①とガイドシャフト②にグリスを塗布して下さい。
1
1
2
2
① バンクロケートピン
② ガイドシャフト