KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第740页

35 ら実行してください。 E690010 測定モードがコンデンサ測定になっていないため測定できません。 コンデンサ測定モードに 切り替えてから実行してください。 E690011 測定モードがダイオード測定になっていないため測定できません。 ダイオード測定モードに 切り替えてから実行してください。 E690012 取得した測定モードが抵抗測定になっていないため測定できません。 E690013 取得した測定モードがコンデンサ測定になってい…

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E650322 アイドル基板搬送エラー:入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路上の基板
は取り除いて下さい。
E650323 アイドル基板搬送エラー:入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路上の基板
は取り除いて下さい。
E650324 アイドル基板搬送エラー:入口バッファ基板搬入タイムアウト。強制終了します。搬送路上
の基板は取り除いて下さい。
E650334 アイドル基板搬送エラー:センターステーション基板搬入タイムアウト。強制終了します。
搬送路上の基板は取り除いて下さい。
E650342 アイドル基板搬送エラー:入口側センターステーションエラー。強制終了します。搬送路上
の基板は取り除いて下さい。
E650343 アイドル基板搬送エラー:入口側センターステーションエラー。強制終了します。搬送路上
の基板は取り除いて下さい。
E650344 アイドル基板搬送エラー:入口側センターステーション基板搬入タイムアウト。強制終了し
ます。搬送路上の基板は取り除いて下さい。
E650352 アイドル基板搬送エラー:出口側センターステーションエラー。強制終了します。搬送路上
の基板は取り除いて下さい。
E650353 アイドル基板搬送エラー:出口側センターステーションエラー。強制終了します。搬送路上
の基板は取り除いて下さい。
E650354 アイドル基板搬送エラー:出口側センターステーション基板搬入タイムアウト。強制終了し
ます。搬送路上の基板は取り除いて下さい。
E650362 アイドル基板搬送エラー:出口バッファ基板搬出エラー。強制終了します。搬送路上の基板
は取り除いて下さい。
E650364 アイドル基板搬送エラー:出口バッファ基板搬出エラー。強制終了します。搬送路上の基板
は取り除いて下さい。
E650365 アイドル基板搬送エラー:出口バッファ基板搬出タイムアウト。強制終了します。搬送路上の
基板は取り除いて下さい。
E651001 原点復帰が完了していません。
E651002 原点復帰でエラーが発生しました。
E651003 移動する必要がありません。
E651004 バックアップピン検出により移動を停止しました。
E651005 コマンドが多重に起動されました。
E651006 コマンド起動イベントの発行でエラーが発生しました。
E651007 コマンド完了待ちでタイムアウトが発生しました。
E651008 モータは停止ししましたがエンコーダが停止しません。
E651009 モータ起動時にエラーが発生しました。
E651010 モータ停止待ちでエラーが発生しました。
E651011 原点センサ読込みでエラーが発生しました。
CVS関連
CVS関連CVS関連
CVS関連
エラーコード
エラーコードエラーコード
エラーコード メッセージ
メッセージメッセージ
メッセージ
E690001 CVSは実装されていません。
E690002 プローブが閉じていないため抵抗測定モードに切り替えられません。 プローブを閉じてから
実行してください。
E690003 プローブが開いていないためコンデンサ測定モードに切り替えられません。 プローブを開い
てから実行してください。
E690004 測定モードが不正です。
E690005 プローブ制御のパラメータが不正です。
E690006 抵抗測定はプローブが閉じていないと測定できません。 プローブを閉じてから実行してくだ
さい。
E690007 コンデンサ測定はプローブが閉じていないと測定できません。 プローブを閉じてから実行し
てください。
E690008 ダイオード測定はプローブが閉じていないと測定できません。 プローブを閉じてから実行し
てください。
E690009 測定モードが抵抗測定になっていないため測定できません。 抵抗測定モードに切り替えてか
ら実行してください。
35
ら実行してください。
E690010 測定モードがコンデンサ測定になっていないため測定できません。 コンデンサ測定モードに
切り替えてから実行してください。
E690011 測定モードがダイオード測定になっていないため測定できません。 ダイオード測定モードに
切り替えてから実行してください。
E690012 取得した測定モードが抵抗測定になっていないため測定できません。
E690013 取得した測定モードがコンデンサ測定になっていないため測定できません。
E690014 取得した測定モードがダイオード測定になっていないため測定できません。
E690015 ゼロアジャスト時の抵抗値が異常です。 プローブがショートしているか確認してください。
E690016 抵抗値の読込みでタイムアウトが発生しました。
E690017 容量値の読込みでタイムアウトが発生しました。
E690018 電圧値の読込みでタイムアウトが発生しました。
E690019 測定した抵抗値が安定しません。 プローブの状態を確認してください。
E690020 測定した容量値が安定しません。 プローブの状態を確認してください
E690021 測定した電圧値が安定しません。 プローブの状態を確認してください。
E690022 測定した抵抗値に異常があります。
E690023 測定した容量値に異常があります。
E690024 測定した電圧値に異常があります。
E690025 測定した抵抗値(単位)に異常があります。
E690026 測定した容量値(単位)に異常があります。
E690027 測定した電圧値(単位)に異常があります。
E690028 抵抗値が測定できません。 プローブが閉じているか確認してください。
E690029 容量値が測定できません。 プローブが閉じているか確認してください。
E690030 電圧値が測定できません。 プローブが閉じているか確認してください。
Safety関連
Safety関連Safety関連
Safety関連
エラーコード
エラーコードエラーコード
エラーコード メッ
メッメッ
メッセージ
セージセージ
セージ
E691001 CCL−48Mの入出力バッファの状態がレディになりません。
E691002 フラッシュメモリの書込みバッファが使用可能になりません。
E691003 フラッシュメモリの消去キューが使用可能になりません。
E691004 フラッシュメモリの WSM(Write State Machine)がレディになりません
E691005 フラッシュメモリの制御で書込み電圧範囲エラーが発生しました。
E691006 フラッシュメモリの制御でデバイス保護エラーが発生しました
E691007 フラッシュメモリの制御で書込みエラーが発生しました。
E691008 フラッシュメモリの制御でコマンドシーケンスエラーが発生しました。
E691009 フラッシュメモリの制御でロックビットセットエラーが発生しました。
E691010 フラッシュメモリの制御でロックビットクリアエラーが発生しました。
E691011 フラッシュメモリの共通データのチェックワードが異常です。
E691012 フラッシュメモリの共通データのチェックサムが異常です。
E691013 フラッシュメモリの共通データのデータバージョンが異常です。
E691014 フラッシュメモリの共通データのデータ長が異常です。
E691015 共通データのデータ種類が異常です。
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セルフキャリブレ−ション関連
セルフキャリブレ−ション関連セルフキャリブレ−ション関連
セルフキャリブレ−ション関連
エラーコード
エラーコードエラーコード
エラーコード メッセージ
メッセージメッセージ
メッセージ
E906001 メモリアロケーションエラー
E906002 シェアードメモリオープンエラー
E906011 計測結果が制限値を越えています。|MSパラメータを確認して下さい
E906021 原点復帰が終了していません。
E906022 サーボフリー状態です。
E906031 選択したデバイスは装着されていません。|別のデバイスを再選択してください。
E906041 使用可能なヘッドがありません。
E906042 使用可能なVCSがありません。
E906043 s が未%使用デバイスです。|選択したユニットは計測できません。
E906051 501番及び、502番ノズルがATCに割り付けられていません。マシンセットアップの
ATCノズル割付でノズルを割り付けて下さい。
E906052 508番及び、507番ノズルがATCに割り付けられていません。マシンセットアップの
ATCノズル割付でノズルを割り付けて下さい。
E906061 レーザアライン用キャリブレーション治具のマークが認識できませんでした。|治具の位置を
確認して下さい。
E906062 レーザアライン用キャリブレーション治具のマークが認識できませんでした。
E906071 レーザアライン用キャリブレーション治具が吸着できませんでした。治具がキャリブレーシ
ョンブロック上に載せてあるか確認して下さい。
E906072 レーザアライン用キャリブレーション治具が吸着できませんでした。治具が治具ステーショ
ン上に載せてあるか確認して下さい。
E906073 治具の搭載位置とキャリブレーションブロックの位置の誤差が制限値を越えています。|MS
パラメータを確認して下さい。
E906074 レーザアライン用キャリブレーション治具の位置が異常です。治具の位置を確認して下さい。
E906075 VCS用キャリブレーション治具が吸着できませんでした。|治具が治具ステーション上に載
せてあるか確認して下さい。
E906101 レーザ計測面高さ検出でエラーが発生しました。 |コード:%ld
E906102 レーザパラメータ設定でエラーが発生しました。 |コード:%ld
E906103 レーザ計測(ONCE)でエラーが発生しました。 |コード:%ld
E906104 レーザ計測(SWEEP)でエラーが発生しました。|コード:%ld
E906105 部品有無チェックでエラーが発生しました。 |コード:%ld
E906201 マークの認識でエラーが発生しました。
E906301 軸でエラーが発生しました。|コード:%ld
Q907001 各I/Oの安全方向設定を行いますか。
Q907002 セルフキャリブレーションを終了します。|設定値を保存しますか。
Q907011 原点復帰が終了していません。|原点復帰を行いますか。
Q907021 部品を返却できません。|部品を廃棄してもよろしいですか。
I908001 %s の部品を取り外して下さい。
I909001 %s のノズルを取り外します。
I909002 %s を治具ステーションに戻します。
B.対処方法
B.対処方法B.対処方法
B.対処方法
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共通エラ−関連共通エラ−関連
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E1013
E1013E1013
E1013:
INI
INIINI
INI ファイルの読み込みに失敗しました。
ファイルの読み込みに失敗しました。ファイルの読み込みに失敗しました。
ファイルの読み込みに失敗しました。
[原因] MSL セットアップで、ラインが設定されていない場合に出力されます。
[対処] もう一度、MSL セットアップでラインがセットされているか確認してください。