KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第931页
226 基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連 基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連 基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連 基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連 W650009 W650009 W650009 W650009： ： ： ： 搬送デバイスエラー 搬送デバイスエラー 搬送デバイスエラー 搬送デバイスエラー: : : : チェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリン チェックシリンダ干渉基板を検知…
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[対処] 別のユーザー定義テンプレートを再ティーチングして下さい。
Q631200
Q631200Q631200
Q631200：
：：
：
照明が暗くなって来ています。
照明が暗くなって来ています。照明が暗くなって来ています。
照明が暗くなって来ています。
ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。
ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。
ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。
[原因] 照明に汚れが有ります。
カメラレンズが汚れています。
カメラケーブルが切れかかっています。
照明ケーブルが切れかかっています。
LED の輝度が変化しています。
照明の電流量が変化しています。
[対処] 照明をクリーニングして下さい。
カメラレンズをクリーニングして下さい。
カメラケーブルを交換して下さい。
照明ケーブルを交換して下さい。
照明の電流再調整を実施して下さい。
照明を交換して電流再調整を実施して下さい。
照明基板を交換して電流再調整を実施して下さい。
E631201
E631201E631201
E631201：
：：
：
照明が暗過ぎます。
照明が暗過ぎます。照明が暗過ぎます。
照明が暗過ぎます。
ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。
ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。
ｸﾘｰﾆﾝｸﾞを実施してください。
[原因] 照明に汚れが有ります。
カメラレンズが汚れています。
カメラケーブルが切れかかっています。
照明ケーブルが切れかかっています。
LED の輝度が変化しています。
照明の電流量が変化しています。
[対処] 照明をクリーニングして下さい。
カメラレンズをクリーニングして下さい。
カメラケーブルを交換して下さい。
照明ケーブルを交換して下さい。
照明の電流再調整を実施して下さい。
照明を交換して電流再調整を実施して下さい。
照明基板を交換して電流再調整を実施して下さい。
E631202
E631202E631202
E631202：
：：
：
照明が点いていません。
照明が点いていません。照明が点いていません。
照明が点いていません。
確認してください。
確認してください。確認してください。
確認してください。
[原因] カメラケーブルが切れています。
照明ケーブルが切れています。
LED が壊れました。
照明基板が壊れました。
カメラが壊れました。
[対処] カメラケーブルを交換して下さい。
照明ケーブルを交換して下さい。
照明を交換して電流再調整を実施して下さい。
照明基板を交換して電流再調整を実施して下さい。
カメラを交換して MS パラメータを入れ直して下さい。
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基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連
基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連
基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連
W650009
W650009W650009
W650009：
：：
：
搬送デバイスエラー
搬送デバイスエラー搬送デバイスエラー
搬送デバイスエラー:
: :
: チェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリン
チェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリンチェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリン
チェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリン
ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。
ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。
ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 において下降（開）中チェックシリンダを上昇（閉）させようとしましたが、シ
リンダ上昇動作位置に基板を検知した為、上昇動作を行えませんでした。
[対処] 搬送路上の基板を取り除いて下さい。
E650010
E650010E650010
E650010：
：：
：
搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、
搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、
搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、ON
ONON
ONになりません。
になりません。になりません。
になりません。
[原因] チェックシリンダを動作させましたが、チェックシリンダのセンサが、規定時間内にオン
になりませんでした。
[対処] メニューバーから[マニュアル制御…]を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [可動
ステーション制御(M
)…]を選択します。“制御項目”フレームから“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞ制御(A)”
を選択し、ON/OFF を実行してください。実行結果より以下のような対処をします。
1.シリンダは動作している。
1.1“状態”表示フレーム内の“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞｾﾝｻ”の状態が、ON/OFF する。
チェックシリンダのスピードコントローラが絞られすぎているのが原因と考えられます。
チェックシリンダのスピードコントローラの絞りを開放してください。
1.2 “状態”表示フレーム内の“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞｾﾝｻ”の状態が、ON/OFF しない。
① チェックシリンダセンサが、シリンダの動作範囲外に調整されていることが考えら
れます。ON/OFFする位置にセンサを再調整してください。
② ①で直らない場合、チェックシリンダセンサの故障が考えられます。故障内容は、
配線のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、セン
サ自体の故障です。（チェックシリンダセンサのLEDが、ON/OFFしていて、“状態”
表示フレーム内の“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞｾﾝｻ”の状態が、ON/OFFしない場合は、チェックシリ
ンダセンサの信号線の異常−断線、コネクタ部接触不良−と考えられます。） 配線
のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、交換が必要です。
③ ②でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
2.シリンダは動作しない。
① チェックシリンダへのエア配管系の異常が考えられます。異常内容としては、スピード
コントローラが完全に絞られている、エア配管がはずれている、エア配管が間違ってい
る等です。エア配管をチェックし、正しく接続されているかどうかを確認します。
② チェックシリンダ自身の故障が考えられます。マシン本体のエアを止め、手で、シリン
ダのシャフトが動くかどうか確認してください。もし、動きが滑らかでないようであれ
ば、交換が必要です。
③ 駆動電磁弁の故障が考えられます。故障内容は、配線のコネクタ部の外れ、コネクタ部
のコンタクトピンの折れ、配線の断線、電磁弁自体の故障です。配線のチェック、コネ
クタ部のチェックを行い、故障している場合は、交換が必要です。
④ 上記のいずれでも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650100
E650100E650100
E650100：
：：
：
搬送エラー
搬送エラー搬送エラー
搬送エラー:
::
:基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。
基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。
基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。
[原因] 基板搬送動作中に致命的な非同期事象（非常停止等）が発生した為に搬送動作が異常終了
しました。
[対処] 搬送路上の基板を除去後、原点復帰を行って下さい。
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W650203
W650203W650203
W650203：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:搬出対象基板が存在しません。
搬出対象基板が存在しません。搬出対象基板が存在しません。
搬出対象基板が存在しません。
[原因] 搬送路センターステーション上に基板が存在しない状態で基板搬出動作要求が行われま
した。本エラーは生産を伴わない基板搬送動作操作（基板搬出）においてのみ発生しま
す。
[対処] 搬送路上の基板有無を確認の上、基板搬出操作を実施して下さい。
W650204
W650204W650204
W650204：
：：
：
基板固定エラー
基板固定エラー基板固定エラー
基板固定エラー:
::
:基板固定解除対象基板が存在しません。
基板固定解除対象基板が存在しません。基板固定解除対象基板が存在しません。
基板固定解除対象基板が存在しません。
[原因] 搬送路センターステーション上にて基板がクランプされていない状態で基板固定解除動
作要求が行われました。本エラーは生産を伴わない基板搬送動作操作（基板固定解除）
においてのみ発生します。
[対処] 基板固定（クランプ）有無を確認の上、基板固定解除操作を実施して下さい。
I650205
I650205I650205
I650205：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
出口ステーション基板を先に搬出して下さい。出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
[原因] KE2030 において搬送路センター入口／出口ステーションに基板が在る状態で入口ステー
ションに対しての個別搬出要求が行われました。本エラーは生産を伴わない基板搬送動
作（基板搬出）においてのみ発生します。
[対処] センター出口ステーション基板を先に個別搬出するか、両ステーション搬出を実施して下
さい。
W650209
W650209W650209
W650209：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
い。
い。い。
い。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路の複数バッファにて検知しま
した。
[対処] 搬送路上の基板を除去して下さい。
W650211
W650211W650211
W650211：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:センターステーションで基板を検知しました。基板を取
センターステーションで基板を検知しました。基板を取センターステーションで基板を検知しました。基板を取
センターステーションで基板を検知しました。基板を取
り除いて下さい。
り除いて下さい。り除いて下さい。
り除いて下さい。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンターステーションにて
検知しました。
[対処] センターステーション上の基板を除去して下さい。
W650212
W650212W650212
W650212：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入口側センターステーションで基板を検知しました。基
入口側センターステーションで基板を検知しました。基入口側センターステーションで基板を検知しました。基
入口側センターステーションで基板を検知しました。基
板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンター入口側ステ
ーションにて検知しました。
[対処] センター入口側ステーション上の基板を除去して下さい。
W650213
W650213W650213
W650213：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口側センターステーションで基板を検知しました。基
出口側センターステーションで基板を検知しました。基出口側センターステーションで基板を検知しました。基
出口側センターステーションで基板を検知しました。基
板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンター出口側ステ
ーションにて検知しました。
[対処] センター出口側ステーション上の基板を除去して下さい。