KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第932页

227 W650203 W650203 W650203 W650203： ： ： ： 基板搬送エラー 基板搬送エラー 基板搬送エラー 基板搬送エラー: : : : 搬出対象基板が存在しません。 搬出対象基板が存在しません。 搬出対象基板が存在しません。 搬出対象基板が存在しません。 [原因] 搬送路センターステーション上に基板が存在しない状態で基板搬出動作要求が行われま した。本エラーは生産を伴わない基板搬送動作操作（基板搬出）において…

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基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連
基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連
基板搬送ドライバ・自動搬送・アイドル搬送関連
W650009
W650009W650009
W650009：
：：
：
搬送デバイスエラー
搬送デバイスエラー搬送デバイスエラー
搬送デバイスエラー:
: :
: チェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリン
チェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリンチェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリン
チェックシリンダ干渉基板を検知した為、シリン
ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。
ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。
ダの上昇が出来ません。基板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 において下降（開）中チェックシリンダを上昇（閉）させようとしましたが、シ
リンダ上昇動作位置に基板を検知した為、上昇動作を行えませんでした。
[対処] 搬送路上の基板を取り除いて下さい。
E650010
E650010E650010
E650010：
：：
：
搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、
搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、
搬送デバイスエラー：チェックシリンダセンサが、ON
ONON
ONになりません。
になりません。になりません。
になりません。
[原因] チェックシリンダを動作させましたが、チェックシリンダのセンサが、規定時間内にオン
になりませんでした。
[対処] メニューバーから[マニュアル制御…]を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [可動
ステーション制御(M
)…]を選択します。“制御項目”フレームから“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞ制御(A)”
を選択し、ON/OFF を実行してください。実行結果より以下のような対処をします。
1.シリンダは動作している。
1.1“状態”表示フレーム内の“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞｾﾝｻ”の状態が、ON/OFF する。
チェックシリンダのスピードコントローラが絞られすぎているのが原因と考えられます。
チェックシリンダのスピードコントローラの絞りを開放してください。
1.2 “状態”表示フレーム内の“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞｾﾝｻ”の状態が、ON/OFF しない。
① チェックシリンダセンサが、シリンダの動作範囲外に調整されていることが考えら
れます。ON/OFFする位置にセンサを再調整してください。
② ①で直らない場合、チェックシリンダセンサの故障が考えられます。故障内容は、
配線のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、セン
サ自体の故障です。（チェックシリンダセンサのLEDが、ON/OFFしていて、“状態”
表示フレーム内の“ﾁｪｯｸｼﾘﾝﾀﾞｾﾝｻ”の状態が、ON/OFFしない場合は、チェックシリ
ンダセンサの信号線の異常−断線、コネクタ部接触不良−と考えられます。） 配線
のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、交換が必要です。
③ ②でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
2.シリンダは動作しない。
① チェックシリンダへのエア配管系の異常が考えられます。異常内容としては、スピード
コントローラが完全に絞られている、エア配管がはずれている、エア配管が間違ってい
る等です。エア配管をチェックし、正しく接続されているかどうかを確認します。
② チェックシリンダ自身の故障が考えられます。マシン本体のエアを止め、手で、シリン
ダのシャフトが動くかどうか確認してください。もし、動きが滑らかでないようであれ
ば、交換が必要です。
③ 駆動電磁弁の故障が考えられます。故障内容は、配線のコネクタ部の外れ、コネクタ部
のコンタクトピンの折れ、配線の断線、電磁弁自体の故障です。配線のチェック、コネ
クタ部のチェックを行い、故障している場合は、交換が必要です。
④ 上記のいずれでも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650100
E650100E650100
E650100：
：：
：
搬送エラー
搬送エラー搬送エラー
搬送エラー:
::
:基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。
基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。
基板搬送中に非同期事象が発生しました。強制終了します。
[原因] 基板搬送動作中に致命的な非同期事象（非常停止等）が発生した為に搬送動作が異常終了
しました。
[対処] 搬送路上の基板を除去後、原点復帰を行って下さい。
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W650203
W650203W650203
W650203：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:搬出対象基板が存在しません。
搬出対象基板が存在しません。搬出対象基板が存在しません。
搬出対象基板が存在しません。
[原因] 搬送路センターステーション上に基板が存在しない状態で基板搬出動作要求が行われま
した。本エラーは生産を伴わない基板搬送動作操作（基板搬出）においてのみ発生しま
す。
[対処] 搬送路上の基板有無を確認の上、基板搬出操作を実施して下さい。
W650204
W650204W650204
W650204：
：：
：
基板固定エラー
基板固定エラー基板固定エラー
基板固定エラー:
::
:基板固定解除対象基板が存在しません。
基板固定解除対象基板が存在しません。基板固定解除対象基板が存在しません。
基板固定解除対象基板が存在しません。
[原因] 搬送路センターステーション上にて基板がクランプされていない状態で基板固定解除動
作要求が行われました。本エラーは生産を伴わない基板搬送動作操作（基板固定解除）
においてのみ発生します。
[対処] 基板固定（クランプ）有無を確認の上、基板固定解除操作を実施して下さい。
I650205
I650205I650205
I650205：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
出口ステーション基板を先に搬出して下さい。出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
[原因] KE2030 において搬送路センター入口／出口ステーションに基板が在る状態で入口ステー
ションに対しての個別搬出要求が行われました。本エラーは生産を伴わない基板搬送動
作（基板搬出）においてのみ発生します。
[対処] センター出口ステーション基板を先に個別搬出するか、両ステーション搬出を実施して下
さい。
W650209
W650209W650209
W650209：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
い。
い。い。
い。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路の複数バッファにて検知しま
した。
[対処] 搬送路上の基板を除去して下さい。
W650211
W650211W650211
W650211：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:センターステーションで基板を検知しました。基板を取
センターステーションで基板を検知しました。基板を取センターステーションで基板を検知しました。基板を取
センターステーションで基板を検知しました。基板を取
り除いて下さい。
り除いて下さい。り除いて下さい。
り除いて下さい。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンターステーションにて
検知しました。
[対処] センターステーション上の基板を除去して下さい。
W650212
W650212W650212
W650212：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入口側センターステーションで基板を検知しました。基
入口側センターステーションで基板を検知しました。基入口側センターステーションで基板を検知しました。基
入口側センターステーションで基板を検知しました。基
板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンター入口側ステ
ーションにて検知しました。
[対処] センター入口側ステーション上の基板を除去して下さい。
W650213
W650213W650213
W650213：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口側センターステーションで基板を検知しました。基
出口側センターステーションで基板を検知しました。基出口側センターステーションで基板を検知しました。基
出口側センターステーションで基板を検知しました。基
板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンター出口側ステ
ーションにて検知しました。
[対処] センター出口側ステーション上の基板を除去して下さい。
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W650214
W650214W650214
W650214：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:ＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除い
ＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除いＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除い
ＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除い
て下さい。
て下さい。て下さい。
て下さい。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路の OUT バッファにて検知しま
した。
[対処] OUT バッファ上の基板を除去して下さい。
W650219
W650219W650219
W650219：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:基板搬送動作中。
基板搬送動作中。基板搬送動作中。
基板搬送動作中。
[原因] 基板搬送動作が完了していない状態で新たに基板搬送動作要求がなされました（プログラ
ムエラー）。
[対処] エラーメッセージを確認後、搬送路上の基板を全て除去し、再度実施して下さい。
E650221
E650221E650221
E650221：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬
入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬
入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬
送路上の基板は取り除いて下さい。
送路上の基板は取り除いて下さい。送路上の基板は取り除いて下さい。
送路上の基板は取り除いて下さい。
[原因] 基板搬入を IN センサで検知したためインプットバッファのベルトを駆動し、基板をイン
プットバッファに取り込みましたが、一定時間たっても、IN センサがオフしませんでし
た。通常、基板がインプットバッファ上で、何らかの原因で搬送完了できなかった時に
発生します。
[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、IN センサにより検知される位置にいた場合。
基板が、何らかの原因で基板搬送路で引っかかり、停止しています。
① 上流工程の装置との基板搬送路の接続が悪く基板がスムースに流れません。基板搬送
路の接続を直してください。
② 搬送幅が基板の幅に正しく合っていません。搬送幅を再調整してください。
③ 搬送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。以下の場合は、仕様
外となります。
・基板厚さ0.4mm未満、または、4mmを超えるもの。
・質量が2Kgを超えるもの。
2.このエラーが発生した時に、基板は、IN センサにより検知される位置にいなかった場
合。
基板が正しく搬送されているのに、INセンサがオフにならない場合、INセンサが基板
以外のものを検知していることが考えられます。メニューバーから[マニュアル制御
…]を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [個別制御(I)…]を選択して、“状態”
フレーム内のINセンサの状態を確認します。
① INセンサの下にセンサを反応させるものがあれば、取り除くか、またはINセンサの位
置を変更してください。
② それでもINセンサがオフにならない場合には、センサについているボリュームを回転
し、センサの感度を調整してください。
③ ②でも問題が解消されない場合、INセンサの故障が考えられます。故障内容は、配線
のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、センサ自体
の故障です。配線のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、
交換が必要です。
④ ③でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650222
E650222E650222
E650222：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。
[原因] インプットバッファのベルトを駆動し、基板をインプットバッファに取り込みましたが、
WAIT センサにより、基板が検出されても、IN センサが、オフになりません。基板は、イ
ンプットバッファに搬入され、WAIT センサが、基板を検出すると搬送を止め、待機状態
になります。この時、IN センサは、基板を検知していない状態でなければなりません。