KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第933页
228 W650214 W650214 W650214 W650214 ： ： ： ： 基板搬送エラー 基板搬送エラー 基板搬送エラー 基板搬送エラー: : : : ＯＵＴバッファで基板を検知しました。 基板を取り除い ＯＵＴバッファで基板を検知しました。 基板を取り除い ＯＵＴバッファで基板を検知しました。 基板を取り除い ＯＵＴバッファで基板を検知しました。 基板を取り除い て下さい。 て下さい。 て下さい。 て下さい。 [原 因]…
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W650203
W650203W650203
W650203：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:搬出対象基板が存在しません。
搬出対象基板が存在しません。搬出対象基板が存在しません。
搬出対象基板が存在しません。
[原因] 搬送路センターステーション上に基板が存在しない状態で基板搬出動作要求が行われま
した。本エラーは生産を伴わない基板搬送動作操作（基板搬出）においてのみ発生しま
す。
[対処] 搬送路上の基板有無を確認の上、基板搬出操作を実施して下さい。
W650204
W650204W650204
W650204：
：：
：
基板固定エラー
基板固定エラー基板固定エラー
基板固定エラー:
::
:基板固定解除対象基板が存在しません。
基板固定解除対象基板が存在しません。基板固定解除対象基板が存在しません。
基板固定解除対象基板が存在しません。
[原因] 搬送路センターステーション上にて基板がクランプされていない状態で基板固定解除動
作要求が行われました。本エラーは生産を伴わない基板搬送動作操作（基板固定解除）
においてのみ発生します。
[対処] 基板固定（クランプ）有無を確認の上、基板固定解除操作を実施して下さい。
I650205
I650205I650205
I650205：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
出口ステーション基板を先に搬出して下さい。出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
出口ステーション基板を先に搬出して下さい。
[原因] KE2030 において搬送路センター入口／出口ステーションに基板が在る状態で入口ステー
ションに対しての個別搬出要求が行われました。本エラーは生産を伴わない基板搬送動
作（基板搬出）においてのみ発生します。
[対処] センター出口ステーション基板を先に個別搬出するか、両ステーション搬出を実施して下
さい。
W650209
W650209W650209
W650209：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
搬送路上に基板を検知しました。基板を取り除いて下さ
い。
い。い。
い。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路の複数バッファにて検知しま
した。
[対処] 搬送路上の基板を除去して下さい。
W650211
W650211W650211
W650211：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:センターステーションで基板を検知しました。基板を取
センターステーションで基板を検知しました。基板を取センターステーションで基板を検知しました。基板を取
センターステーションで基板を検知しました。基板を取
り除いて下さい。
り除いて下さい。り除いて下さい。
り除いて下さい。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンターステーションにて
検知しました。
[対処] センターステーション上の基板を除去して下さい。
W650212
W650212W650212
W650212：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入口側センターステーションで基板を検知しました。基
入口側センターステーションで基板を検知しました。基入口側センターステーションで基板を検知しました。基
入口側センターステーションで基板を検知しました。基
板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンター入口側ステ
ーションにて検知しました。
[対処] センター入口側ステーション上の基板を除去して下さい。
W650213
W650213W650213
W650213：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口側センターステーションで基板を検知しました。基
出口側センターステーションで基板を検知しました。基出口側センターステーションで基板を検知しました。基
出口側センターステーションで基板を検知しました。基
板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。板を取り除いて下さい。
板を取り除いて下さい。
[原因] KE2030 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路のセンター出口側ステ
ーションにて検知しました。
[対処] センター出口側ステーション上の基板を除去して下さい。
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W650214
W650214W650214
W650214：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:ＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除い
ＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除いＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除い
ＯＵＴバッファで基板を検知しました。基板を取り除い
て下さい。
て下さい。て下さい。
て下さい。
[原因] 基板搬送動作においてシステム上意図しない基板を搬送路の OUT バッファにて検知しま
した。
[対処] OUT バッファ上の基板を除去して下さい。
W650219
W650219W650219
W650219：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:基板搬送動作中。
基板搬送動作中。基板搬送動作中。
基板搬送動作中。
[原因] 基板搬送動作が完了していない状態で新たに基板搬送動作要求がなされました（プログラ
ムエラー）。
[対処] エラーメッセージを確認後、搬送路上の基板を全て除去し、再度実施して下さい。
E650221
E650221E650221
E650221：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬
入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬
入り口バッファモーター動作異常。強制終了します。搬
送路上の基板は取り除いて下さい。
送路上の基板は取り除いて下さい。送路上の基板は取り除いて下さい。
送路上の基板は取り除いて下さい。
[原因] 基板搬入を IN センサで検知したためインプットバッファのベルトを駆動し、基板をイン
プットバッファに取り込みましたが、一定時間たっても、IN センサがオフしませんでし
た。通常、基板がインプットバッファ上で、何らかの原因で搬送完了できなかった時に
発生します。
[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、IN センサにより検知される位置にいた場合。
基板が、何らかの原因で基板搬送路で引っかかり、停止しています。
① 上流工程の装置との基板搬送路の接続が悪く基板がスムースに流れません。基板搬送
路の接続を直してください。
② 搬送幅が基板の幅に正しく合っていません。搬送幅を再調整してください。
③ 搬送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。以下の場合は、仕様
外となります。
・基板厚さ0.4mm未満、または、4mmを超えるもの。
・質量が2Kgを超えるもの。
2.このエラーが発生した時に、基板は、IN センサにより検知される位置にいなかった場
合。
基板が正しく搬送されているのに、INセンサがオフにならない場合、INセンサが基板
以外のものを検知していることが考えられます。メニューバーから[マニュアル制御
…]を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [個別制御(I)…]を選択して、“状態”
フレーム内のINセンサの状態を確認します。
① INセンサの下にセンサを反応させるものがあれば、取り除くか、またはINセンサの位
置を変更してください。
② それでもINセンサがオフにならない場合には、センサについているボリュームを回転
し、センサの感度を調整してください。
③ ②でも問題が解消されない場合、INセンサの故障が考えられます。故障内容は、配線
のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、センサ自体
の故障です。配線のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、
交換が必要です。
④ ③でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650222
E650222E650222
E650222：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。
[原因] インプットバッファのベルトを駆動し、基板をインプットバッファに取り込みましたが、
WAIT センサにより、基板が検出されても、IN センサが、オフになりません。基板は、イ
ンプットバッファに搬入され、WAIT センサが、基板を検出すると搬送を止め、待機状態
になります。この時、IN センサは、基板を検知していない状態でなければなりません。
229
[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、WAIT センサと IN センサにより、ともに検出され
ていた時。
① INセンサ、及び、WAITセンサの取り付け調整位置が合っていません。同時に検出状態
とならないように、センサの位置を再調整してください。
② 搬送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。M基板仕様機の場合
には330mm、L基板仕様機の場合には410mm、E基板仕様機の場合には510mmを超える基
板は扱えません。
2.このエラーが発生した時に、基板は、IN センサによりのみ検知される位置で止
まっていた時。（基板は、WAIT センサまでとどいていない状態でエラーが発生
した。）
基板をインプットバッファに搬送中にWAITセンサが基板以外のものを検知しているこ
とが考えられます。メニューバーから[マニュアル制御…]を選択し、さらに、[制御(C
)]
[搬送系(C
)] [個別制御(I)…]を選択して、“状態”フレーム内のWAITセンサの状態を
確認します。
① WAIT センサの発光と受光の光軸にずれがある場合、光軸が合うように再調整します。
② WAIT センサの感度調整が、正しくない場合は、再度感度調整を実施します。（センサ
の感度は、オートチューニングタイプですので、メンテナンスマニュアルに従い、調
整してください。）
③ WAIT センサの発光と受光の間に、配線などで、何らかのセンサ光を遮るものがある場
合には、取り除くか、遮ることのないように固定するかの処置をしてください。
3.このエラーが発生した時に、基板は、WAIT センサによりのみ検知される位置で止まっ
ていた時。（基板は、正しい待機位置に達して、エラーが発生した。）
基板が正しく搬送されているのに、INセンサがオフにならない場合、INセンサが基板
以外のものを検知していることが考えられます。メニューバーから[マニュアル制御
…]を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [個別制御(I)…]を選択して、“状態”
フレーム内のINセンサの状態を確認します。
① INセンサの下にセンサを反応させるものがあれば、取り除くか、またはINセンサの位
置を変更してください。
② それでもINセンサがオフにならない場合には、センサについているボリュームを回転
し、センサの感度を調整してください。
③ ②でも問題が解消されない場合、INセンサの故障が考えられます。故障内容は、配線
のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、センサ自体
の故障です。配線のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、
交換が必要です。
④ ③でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E6502
E6502E6502
E650223
2323
23：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
入口バッファ基板搬入エラー。強制終了します。搬送路
上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。
[原因] インプットバッファに基板が待機中に、IN センサが、次の基板を検出しました。上流工
程の装置に対しては、基板要求信号を出していない為に、本来は、IN センサは、オンに
なりません。通常、上流工程の装置が、基板を搬出した際に、基板がオーバーランし、
IN センサが基板を検知した時に発生します。
[対処] 1.このエラーが発生した時に、上流装置から基板が搬入され、IN センサが、この基板を
検知している時。
① 上流装置側で停止位置を変更できる場合には、オーバーランして IN センサにかからな
いよう調整してください。
② 上流装置側で、調整ができない場合には、IN センサの位置を、マシン内部側に移動し、