KE2010取扱説明書Ver.2.01和文Rev.08 - 第940页
235 生します。金属製の治具基板などを使用した場合、発生することがあります。①と同 様に、“基板搬送センサ遅延”を設定します。 3.このエラーが発生 した時に、基板は出口側センターステーションのストッパに当たって もベルトの回転がしばらく続いた場合。 出口側センターステーションのSTOPセンサが基板を検知していません。メニューバーか ら[マニュアル制御…]を選択し、さらに、[制御(C )] [搬送系(C )] [個別制御(I )…]を…
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[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、出口側センターステーションの C-OUT センサに
より検知される位置にいた場合。
基板が、何らかの原因で基板搬送路で引っかかり、停止しています。
① 搬送幅が基板の幅に正しく合っていません。搬送幅を再調整してください。
② 搬送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。以下の場合は、仕様
外となります。
・基板厚さ0.4mm未満、または、4mmを超えるもの。
・質量が2Kgを超えるもの。
2.このエラーが発生した時に、基板は、出口側センターステーションの STOP により検知
される位置にいなかった場合。
基板が正しく搬送されているのに、STOPセンサがオフにならない場合、STOPセンサが
基板以外のものを検知していることが考えられます。メニューバーから[マニュアル制
御…]を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [個別制御(I)…]を選択して、“状
態”フレーム内の出口側センターステーションC-OUTセンサの状態を確認します。
① C-OUTセンサの感度が高すぎると考えられます。センサの感度調整ボリュームを再調整
してください。
② ①でも問題が解消されない場合、C-OUTセンサの故障が考えられます。故障内容は、配
線のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、センサ自
体の故障です。配線のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、
交換が必要です。
③ ②でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650254
E650254E650254
E650254：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口側センターステーション基板搬入タイムアウト。強
出口側センターステーション基板搬入タイムアウト。強出口側センターステーション基板搬入タイムアウト。強
出口側センターステーション基板搬入タイムアウト。強
制終了します。搬送路上の基板は取り除いて下さい。
制終了します。搬送路上の基板は取り除いて下さい。制終了します。搬送路上の基板は取り除いて下さい。
制終了します。搬送路上の基板は取り除いて下さい。
[原因] 入口側センターステーションの基板を出口側センターステーションに搬入する際に、入口
側センターステーションの C-OUT センサが、オフになってから一定時間たっても、出口
側センターステーションの STOP センサが ON になりませんでした。通常は基板が何らか
の原因で搬送完了できなかった時に発生します。
[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、入口側ステーションの C-OUT センサにも、出口
側センターステーションの STOP センサにも検知されない位置にいた場合。
基板が、何らかの原因で基板搬送路で引っかかり、停止しています。
① 搬送幅が基板の幅に正しく合っていません。搬送幅を再調整してください。
② 搬送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。以下の場合は、仕
様外となります。
・基板厚さ0.4mm未満、または、4mmを超えるもの。
・質量が2Kgを超えるもの。
2.入口側センターステーションの基板が入口側センターステーションからの搬出途中に、
入口側センターステーションストッパが上昇し、基板の搬出を妨げることにより、この
エラーが発生した場合。
入口側C-OUTセンサが基板を完全に搬出する前に一時的にOFFになった場合に発生しま
す。
① 基板に穴や、切り欠きがあり、基板搬出前にC-OUTが、一時的にOFFになった場合に発
生します。メニューバーの[セットアップ(S
)] ［セットアップ(S)］を選択し、さら
に、 ［設定グループ(G
)］ ［基板搬送(C)….］を選択します。“基板搬送センサ遅
延”を設定し、基板の穴や切り欠きを無効にするように設定します。
② 基板の裏面に全反射するような個所があり、C-OUTが、一時的にOFFになった場合に発
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生します。金属製の治具基板などを使用した場合、発生することがあります。①と同
様に、“基板搬送センサ遅延”を設定します。
3.このエラーが発生した時に、基板は出口側センターステーションのストッパに当たって
もベルトの回転がしばらく続いた場合。
出口側センターステーションのSTOPセンサが基板を検知していません。メニューバーか
ら[マニュアル制御…]を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [個別制御(I)…]を
選択して、“状態”フレーム内の出口側センターステーションSTOPセンサの状態を確認
します。
① 出口側センターステーションのSTOPセンサの感度が低すぎると考えられます。セン
サの感度調整ボリュームを再調整してください。
② ①でも問題が解消されない場合、出口側センターステーションのSTOPセンサの故障
が考えられます。故障内容は、配線のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクト
ピンの折れ、配線の断線、センサ自体の故障です。配線のチェック、コネクタ部の
チェックを行い、故障している場合は、交換が必要です。
③ ②でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650262
E650262E650262
E650262：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口バッファ基板搬出エラー。強制終了します。搬送路
出口バッファ基板搬出エラー。強制終了します。搬送路出口バッファ基板搬出エラー。強制終了します。搬送路
出口バッファ基板搬出エラー。強制終了します。搬送路
上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。上の基板は取り除いて下さい。
上の基板は取り除いて下さい。
[原因] 下流工程からの基板要求信号をもとに アウトプットバッファの基板搬出を実行しました
が、OUT センサが OFF になった後、再度 ON になり一定時間経っても OFF にならない時に
発生します。
[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、OUT センサにより検知される位置にいた場合。
基板が、何らかの原因で基板搬送路で引っかかり、停止しています。
① 下流工程の装置との基板搬送路の接続が悪く基板がスムースに流れません。基板搬送
路の接続を直してください。
② 搬送幅が基板の幅に正しく合っていません。搬送幅を再調整してください。
③ 搬送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。以下の場合は、仕様
外となります。
・基板厚さ0.4mm未満、または、4mmを超えるもの。
・質量が2Kgを超えるもの。
2.このエラーが発生した時に、基板は、OUT センサにより検知される位置にいなかった場合。
基板が正しく搬送されているのに、OUTセンサがオフにならない場合、OUTセンサが基板
以外のものを検知していることが考えられます。メニューバーから[マニュアル制御…]
を選択し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [個別制御(I)…]を選択して、“状態”フレ
ーム内のOUTセンサの状態を確認します。
① OUTセンサの下にセンサを反応させるものがあれば、取り除くか、またはOUTセンサの
位置を変更してください。
② それでもOUTセンサがオフにならない場合には、センサについているボリュームを回転
し、センサの感度を調整してください。
③ ②でも問題が解消されない場合、OUTセンサの故障が考えられます。故障内容は、配線
のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、センサ自体
の故障です。配線のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、
交換が必要です。
④ ③でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650264
E650264E650264
E650264：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口バッファ基板搬入タイ
出口バッファ基板搬入タイ出口バッファ基板搬入タイ
出口バッファ基板搬入タイムアウト。強制終了します。
ムアウト。強制終了します。ムアウト。強制終了します。
ムアウト。強制終了します。
搬送路上の基板は取り除いて下さい。
搬送路上の基板は取り除いて下さい。搬送路上の基板は取り除いて下さい。
搬送路上の基板は取り除いて下さい。
[原因] センターステーションの基板をアウトプットバッファに搬入する際に、センターステーシ
ョンの C-OUT センサが、オフになってから一定時間たっても、アウトプットバッファの
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OUT センサが ON になりませんでした。
通常は基板が何らかの原因で搬送完了できなかった時に発生します。
[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、センターステーションの C-OUT センサにも、ア
ウトプットバッファの OUT センサにも検知されない位置にいた場合。
基板が、何らかの原因で基板搬送路で引っかかり、停止しています。
① 搬送幅が基板の幅に正しく合っていません。搬送幅を再調整してください。
② 搬送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。以下の場合は、仕様
外となります。
・基板厚さ0.4mm未満、または、4mmを超えるもの。
・質量が2Kgを超えるもの。
2.センターステーションの基板の搬出途中に、ストッパが上昇し、基板の搬出を妨げるこ
とにより、このエラーが発生した場合。
C-OUTセンサが基板を完全に搬出する前に一時的にOFFになった場合に発生します。
① 基板に穴や、切り欠きがあり、基板搬出前にC-OUTが、一時的にOFFになった場合に発
生します。メニューバーの[セットアップ(S
)] ［セットアップ(S)］を選択し、さらに、
［設定グループ(G
)］ ［基板搬送(C)….］を選択します。“基板搬送センサ遅延”を
設定し、基板の穴や切り欠きを無効にするように設定します。
② 基板の裏面に全反射するような個所があり、C-OUTが、一時的にOFFになった場合に発
生します。金属製の治具基板などを使用した場合、発生することがあります。①と同
様に、“基板搬送センサ遅延”を設定します。
3.このエラーが発生した時に、基板が OUT センサの位置に到達してもベルトの回転がし
ばらく続いた場合。
OUTセンサが基板を検知していません。メニューバーから[マニュアル制御…]を選択
し、さらに、[制御(C
)] [搬送系(C)] [個別制御(I)…]を選択して、“状態”フレーム内
の出口側センターステーションSTOPセンサの状態を確認します。
① OUTセンサの感度が低すぎると考えられます。センサの感度調整ボリュームを再調整し
てください。
② ①でも問題が解消されない場合、OUTセンサの故障が考えられます。故障内容は、配線
のコネクタ部の外れ、コネクタ部のコンタクトピンの折れ、配線の断線、センサ自体
の故障です。配線のチェック、コネクタ部のチェックを行い、故障している場合は、
交換が必要です。
③ ②でも直らない場合は、基板の故障または、基板間の配線の故障です。
E650265
E650265E650265
E650265：
：：
：
基板搬送エラー
基板搬送エラー基板搬送エラー
基板搬送エラー:
::
:出口バッファ基板搬出タイムアウト。強制終了します。
出口バッファ基板搬出タイムアウト。強制終了します。出口バッファ基板搬出タイムアウト。強制終了します。
出口バッファ基板搬出タイムアウト。強制終了します。
搬送路上の基板は取り除いて下さい。
搬送路上の基板は取り除いて下さい。搬送路上の基板は取り除いて下さい。
搬送路上の基板は取り除いて下さい。
[原因] 下流工程からの基板要求信号をもとに アウトプットバッファの基板搬出を実行しました
が、一定時間たっても、OUT センサがオフしませんでした。通常、基板がアウトプットバ
ッファ上で、何らかの原因で搬送完了できなかった時に発生します。
[対処] 1.このエラーが発生した時に、基板は、OUT センサにより検知される位置にいた場合。
基板が、何らかの原因で基板搬送路で引っかかり、停止しています。
① 工程の装置との基板搬送路の接続が悪く基板がスムースに流れません。基板搬送路の接
続を直してください。
② 送幅が基板の幅に正しく合っていません。搬送幅を再調整してください。
③ 送しようとしている基板が、マシンの仕様に合っていません。以下の場合は、仕様外と
なります。