Administrator’s Guide-Chinese(SM320) - 第297页
Machine Calibration 6. 自动执行 Calibration 后 ，结束校正则如下图显示结果 值。要试用新 校正值，请点击 <Update> 按钮。 的 7. 显示 “Next, Remove the Calibration T ool From Head 1. Click [Next] for Moving Down Head. After Moving, Remove the T ool Manuall…
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Calibration Tool 贴装时注意事项。
请参照下图进行贴装。
<Ca Holder的方向设定home（起始位置）> libration Tool的方向设定Pin> <Nozzle
4. 消息窗显示 “Move To Center Position of [Fix1] Camera. To Move,
Click [Next] 。” 为了把 Head Assembly移动到Fix1 Camera的总心
位置请点击 <Next> 按钮。
5. 消息窗显示 “Calibration is Prepared. To Calibrate, Click [Next].”
消息。此时, 点击<Light…> 按钮后在 “Light Control”对话框中使V
isFrame显示的 Calibration Tool上的 Ficucial Mark明显，调整照明
亮度后点击 <Next> 按钮。
注 意
应该考虑 Calibration Tool 的方向设定 Pi
n
和 Nozzle Holder 的方向设定起始位置贴
行贴装可能会发生错误。
装 Calibration Tool。如果不考虑该事项进
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6. 自动执行 Calibration后，结束校正则如下图显示结果值。要试用新
校正值，请点击<Update> 按钮。 的
7. 显示“Next, Remove the Calibration Tool From Head 1. Click [Next] for
Moving Down Head. After Moving, Remove the Tool Manually.”消息。
头1 号的吸嘴支架上手动除去Calibration Tool 请点击
<Next> 按钮。
8. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后, 拉下磁头1号的Z轴
。此时，请手动除去已贴装的 Calibration Tool。
为了在磁
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正基准值如下。
备注
Fix1 Camera的校
Fix1 Camera (FOV 20)
ScaleX:39.7~43.7 (μm/pixel)
ScaleY: 39.7~43.7 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
<3. Fid> 按钮
cial Mark的位置。
正 Fix Camera1位置的次序。
h>领域点击 <Move>
。那么Fiducial Camera移动到相应的Fiducial Mark位置。
认 Fiducial Mark是否正常进行识别。
正确地识别不出相应的Fiducial Mark ， 则正确示教ANC顶面
e> 功能正
据后点击 <Test>按钮确 是否正确地进行识别
设定位于ANC上面的Fix Camera用 Fidu
以下是校
1. 点击<3. Fid>按钮则显示如下画面。在 <Teac
按钮
2. 点击<Test>按钮确
3. 如果,
的 Fiducial Mark位置后，运用 <Tuning> 功能和 <Outln
确设定数 认 。
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