Administrator’s Guide-Chinese(SM320) - 第307页

Machine Calibration 14-41 6. 显示 “Align T ool for Calibrati on! Then Click [Next]” 消息。请点击 <Next> 按钮。 那么，磁头 1 的 Z 轴上升到 Fly Camera 的部件识别高度，关闭 Mirror 。然后在消息窗显示 “Calibration is Prepared. T o Calibrate, Click [N ext].” 消…

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下面是Fly Camera Scale的校正次序。
1. 点击<6. Fly Camera> 按钮，消息窗口显示 “First, We must Put all
Nozzles From Heads manually. To Moving Down Z Axis, Click [Next].”
消息。为手动删除安装在磁头的所有吸嘴，要下降磁头的Z轴请点
击<Next>按钮。
2. 那么，磁头组件（ Head Assembly）移动到设备指定的位置后，下
降所有Z轴。此时，请手动除去所有已安装的吸嘴。
3. 显示“Next Attach the Calibration Tool to Head 1. Click [Next] for
Moving Down Head. After Moving, Attach the Tool to head Manually.”
消息。在吸嘴1号的吸嘴座手动安装Calibration Tool后，请点击
<Next> 按钮。
4. 显示“Move To Center Position of [Fix1] Camera. To Move, Click
[Next].” 消息。为了把磁头组件移动到Fix1 Camera的中心位置，请
点击 <Next>按钮。此时，在 <Target Camera> 组合框中选择 “Fix
1 Cam”后点击 <Light…>按钮， 在“Light Control”对话框中 VisFra
me 窗显示的Calibration Tool上的 Ficucial Mark明显为止调整照明
亮度。
5. 示的Calibration Tool上的 Ficucial Mark明显为止调整照明亮度。
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6. 显示“Align Tool for Calibration! Then Click [Next]”消息。请点击
<Next> 按钮。
那么，磁头1的Z轴上升到Fly Camera的部件识别高度，关闭 Mirror
。然后在消息窗显示 “Calibration is Prepared. To Calibrate, Click [N
ext].” 消息。此时在 <Target Camera>组合框中选择“Fly1 Cam”点击
<Light…> 按钮，在“Light Control”对话框中VisFrame显示的Calibratio
n Tool上的 Fiducoal Mark明显为止调整照明亮度后点击<Next> 按钮
。
7. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值 ，请点
击 <Next> 按钮。
8. 显示“Next, Remove the Calibration Tool From Head 1. Click [Next] for
Moving Down Head. After Moving, Remove the Tool Manually.”消息。
为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请点击 <Next>
按钮。
9. 请按照对Fly Camera1的校正方法，同样地从Fly Camera 2~ 6执
行校正。
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对所有Fly Camera正常完成校正次序如下图显示结果值。
Fly Camera的校正基准值如下。
ScaleX: 49 ~ 51(μm/pixel) (FOV 25)
ScaleY: 49 ~ 51(μm/pixel) (FOV 25)
R:-1~1(deg)
<7. Fly Cam Offset> 按钮
校正Fly Camera和Head Spindle中心间的差距。 为校正Fly Camera中心
和Head Spindle中心的 Offset，必须先行Fly Camera Calibration和 Head
Z Offset Calibration 应该使用特制的器具(Calibration Tool)。 (器具的形
象请参照 “
图
14-9(14-28
页
)”。)
以下是Fly Cam Offset 的校正次序。
1. 点击<7. Fly Cam Offset>按钮则显示“First, We must Put all Nozzles
From Heads manually. To Moving Down Z Axis, Click [Next].”消息。
为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z 轴请点击
<Next> 按钮。
备注