Administrator’s Guide-Chinese(SM320) - 第309页
Machine Calibration 14-43 2. 那么 , Head Asse mbly 移动到设备指定的位置后 ， 拉下所有 Z 轴。此 时，请手动除去已贴装的所有吸 嘴。 3. 显示 “Next Attach the Calibration T ool to Head 1. Click [Next] for Moving Down Head. After Moving, Attach the T ool to head Ma…
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对所有Fly Camera正常完成校正次序如下图显示结果值。
Fly Camera的校正基准值如下。
ScaleX: 49 ~ 51(μm/pixel) (FOV 25)
ScaleY: 49 ~ 51(μm/pixel) (FOV 25)
R:-1~1(deg)
<7. Fly Cam Offset> 按钮
校正Fly Camera和Head Spindle中心间的差距。 为校正Fly Camera中心
和Head Spindle中心的 Offset，必须先行Fly Camera Calibration和 Head
Z Offset Calibration 应该使用特制的器具(Calibration Tool)。 (器具的形
象请参照 “
图
14-9(14-28
页
)”。)
以下是Fly Cam Offset 的校正次序。
1. 点击<7. Fly Cam Offset>按钮则显示“First, We must Put all Nozzles
From Heads manually. To Moving Down Z Axis, Click [Next].”消息。
为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z 轴请点击
<Next> 按钮。
备注
Machine Calibration
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2. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有Z轴。此
时，请手动除去已贴装的所有吸嘴。
3. 显示“Next Attach the Calibration Tool to Head 1. Click [Next] for
Moving Down Head. After Moving, Attach the Tool to head Manually.”
消息。在磁头1的吸嘴支架上手动安装Calibration Tool后请点击
<Next>按钮。
4. 显示“Up to Align Height and Mirror Close, Click [Next].”消息。
请点击 <Next>按钮。
5. 那么，磁头1上升到Fly Camera的Align高度，关闭 Mirror。 然后在
消息窗显示“Calibration is Prepared. To Calibrate, Click [Next].” 消息
。此时在 <Target Camera>组合框中选择“Fly1 Cam”点击 <Light…
> 按钮，在“Light Control”对话框中VisFrame显示的Calibration Tool
上的 Fiducoal Mark明显为止调整照明亮度后点击<Next> 按钮。
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6. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点
击 <Next> 按钮。
7. 显示“Next, Remove the Calibration Tool From Head 1. Click [Next] for
Moving Down Head. After Moving, Remove the Tool Manually.”消息。
为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请点击 <Next>
按钮。
8. 请按照对磁头 1的校正方法，同样地从Head 2~6执行校正。
9. 对所有磁头正常完成校正次序如下图显示结果值。