JM-100_MS参数.pdf - 第85页
MS 参数 7-5 R-ATC 偏移 7-5- 1 功能 设置 R-ATC 的组装位置和组装 高度 7-5- 2 使用夹具 • R-ATC 夹具板 （ 40211951 ） 7-5- 3 操作 从菜单中选择“单 位参 数 ” －“ R-ATC 偏移量” 后，会显示以下 对话框。 7-8
MS 参数
7-4 裸芯片平台偏移量
7-4-1 功能
设置裸芯片平台的位置。
7-4-2 使用模具
• 3.7 DUMMY WAFER（40035043）
(裸芯片)
7-4-3 操作
从菜单中选择“单元参数”－“空站台偏移量”后，会显示以下对话框。
“示教选择”项目中，选择要调整的项目。
目前仅调整XY。
请将裸芯片装在裸芯片平台上，利用示教来调整元件的中心位置。
7-7
MS 参数
7-5 R-ATC 偏移
7-5-1 功能
设置 R-ATC 的组装位置和组装高度
7-5-2 使用夹具
• R-ATC 夹具板（40211951）
7-5-3 操作
从菜单中选择“单位参数”－“R-ATC偏移量”后，会显示以下对话框。
7-8
MS 参数
＜操作・
1
／
6
＞
设置夹具板，以 R-ATC。
准备工作完成后请按“确认”按钮。
OCC 将使得识别移动到偏移孔 1 的位置。
在这种情况下，它需要的错误，它是 R-ATC 已被设置在机器的设置状态。
在机器设置“ATC 设置”中，请将其设置为 R-ATC“未安装”状态并重新执行。
＜操作・
4
／
6
＞
识别出偏置孔 1 和 2 后，将显示上述画面，所以选择“确认”。
HMS 移动到偏置高度采集位置，测量偏置高度。
＜操作・
6
／
6
＞
选择“确认”后，返回初始操作画面。
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