PTS-NXT-10JE - 第14页
CONT ENT S 7.1. DEVICEPALLET 7.1. デ バイス パレッ ト 7.1.1. M3S-D EVICE BASE ……… ……… ……… ……… ……… ……… ……… … … 16 7.1.1. M3S -デバイ ス ベース ……… ……… ……… ……… ……… … … 16 7.1.2. M3S-D EVICE PALLET …… ……… ……… ……… ……… ……… ……… … … 22 7.…

CONTENTS
6.1. SINGLECONVEYOR 6.1. シングルコンベア
6.1.1. M3S-SINGLECONVEYOR……………………………………………………
…
16 6.1.1. M3S-シングルコンベア…………………………………………
…
16
6.1.2. M6S-SINGLECONVEYOR……………………………………………………
…
54 6.1.2. M6S-シングルコンベア…………………………………………
…
54
6.1.3. M6S-SINGLECONVEYORS…………………………………………………
…
94 6.1.3. M6S-シングルコンベアS………………………………………
…
94
6.2. DOUBLECONVEYOR 6.2. ダブルコンベア
6.2.1. M3S-DOUBLECONVEYOR……………………………………………………
…
118 6.2.1. M3S-ダブルコンベア……………………………………………
…
118
6.2.2. M6S-DOUBLECONVEYOR……………………………………………………
…
180 6.2.2. M6S-ダブルコンベア……………………………………………
…
180
6.3. BACK-UPPINS 6.3. バックアップピン
6.3.1. M3S-AUTOBACK-UPPINS…………………………………………………
…
222 6.3.1. M3S-自動バックアップピン……………………………………
…
222
6.3.2. M6S-AUTOBACK-UPPINS…………………………………………………
…
224 6.3.2. M6S-自動バックアップピン……………………………………
…
224
6.3.3. M6S-AUTOBACK-UPPINS(SINGLECONVEYORS)………………………… 226 6.3.3. M6S-自動バックアップピン(シングルコンベアS)…………
…
226
6.3.4. SOFTBACK-UPPINS………………………………………………………
…
228 6.3.4. ソフトバックアップピン………………………………………
…
228
6.4. BACK-UPPLATE 6.4. バックアッププレート
6.4.1. M3S-BACKUPPLATE………………………………………………………
…
230 6.4.1. M3S-バックアッププレート……………………………………
…
230
6.4.2. M6S-BACKUPPLATE………………………………………………………
…
234 6.4.2. M6S-バックアッププレート……………………………………
…
234
6.5. PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION 6.5. 基板停止位置補正機能
6.5.1. M3S-PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION…………………………… 236 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
236
6.5.2. M6S-PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION…………………………… 238 6.5.2. M6S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
238
6.6. ROLLERCONVEYOR 6.6. ローラ搬送コンベア
6.6.1. M3S-ROLLERCONVEYOR(SINGLECONVEYOR)……………………………… 240 6.6.1. M3S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
240
6.6.2. M3S-ROLLERCONVEYOR(DOUBLECONVEYOR)……………………………… 242 6.6.2. M3S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
242
6.6.3. M6S-ROLLERCONVEYOR(SINGLECONVEYOR)……………………………… 244 6.6.3. M6S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
244
6.6.4. M6S-ROLLERCONVEYOR(DOUBLECONVEYOR)……………………………… 246 6.6.4. M6S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
246

CONTENTS
7.1. DEVICEPALLET 7.1. デバイスパレット
7.1.1. M3S-DEVICEBASE…………………………………………………………
…
16 7.1.1. M3S-デバイスベース…………………………………………
…
16
7.1.2. M3S-DEVICEPALLET………………………………………………………
…
22 7.1.2. M3S-デバイスパレット………………………………………
…
22
7.1.3. M3S-DEVICEPALLET(PALLETWITHBUCKET)……………………………
…
28 7.1.3. M3S-デバイスパレット(バケット付きパレットタイプ)…
…
28
7.1.4. M3S-DEVICEPALLETGUIDE………………………………………………
…
34 7.1.4. M3S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
34
7.1.5. M6S-DEVICEBASE…………………………………………………………
…
36 7.1.5. M6S-デバイスベース……………………………………………
…
36
7.1.6. M6S-DEVICEPALLET………………………………………………………
…
44 7.1.6. M6S-デバイスパレット………………………………………
…
44
7.1.7. M6S-DEVICEPALLET(PALLETWITHBUCKET)……………………………
…
50 7.1.7. M6S-デバイスパレット(バケット付きパレットタイプ)…
…
50
7.1.8. M6S-DEVICEPALLETGUIDE………………………………………………
…
58 7.1.8. M6S-デバイスパレットガイド…………………………………
…
58
7.2. TRAYUNIT-L 7.2. トレイユニット-L
7.2.1. TRAYUNIT-LSHIFTER…………………………………………………… 60 7.2.1. トレイユニット-Lシフタ部…………………………………
…
60
7.2.2. TRAYUNIT-LTOWER……………………………………………………… 76 7.2.2. トレイユニット-Lタワー部…………………………………
…
76
7.2.3. TRAYUNIT-LCOVER……………………………………………………… 102 7.2.3. トレイユニット-Lカバー部…………………………………
…
102
7.2.4. TRAYUNIT-LBODY………………………………………………………
…
106 7.2.4. トレイユニット-L本体部……………………………………
…
106
7.2.5. TRAYUNIT-LREJECTPARTSCONVEYOR………………………………… 116 7.2.5. トレイユニット-L部品排出コンベア部……………………
…
116
7.2.6. TRAYUNIT-LTRAYPALLET……………………………………………… 120 7.2.6. トレイユニット-Lトレイパレット部………………………
…
120
7.2.7. TRAYUNIT-LPNEUMATICCIRCUITDIAGRAM…………………………… 124 7.2.7. トレイユニット-Lエアー配管図……………………………
…
124
7.2.8. TRAYUNIT-LREMOVER……………………………………………………
…
128 7.2.8. トレイユニット-Lリムーバ…………………………………
…
128
7.3. WASTETAPEPROCESSINGUNIT 7.3. 残テープ処理ユニット
7.3.1. M3S-WASTETAPEPROCESSINGUNIT……………………………………… 136 7.3.1. M3S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
136
7.3.2. M3S-WASTETAPEPROCESSINGUNITATTACHMENTS……………………… 140 7.3.2. M3S-残テープ処理ユニットダクト…………………………
…
140
7.3.3. M6S-WASTETAPEPROCESSINGUNIT……………………………………… 144 7.3.3. M6S-残テープ処理ユニット……………………………………
…
144
7.3.4. M6S-WASTETAPEPROCESSINGUNITATTACHMENTS……………………… 148 7.3.4. M6S-残テープ処理ユニットダクト…………………………
…
148
7.3.5. M6S-WASTETAPEPROCESSINGUNITATTACHMENTS(forTRAYUNIT)…
…
152 7.3.5. M6S-残テープ処理ユニットダクト(トレイユニット用)…
…
152
7.3.6. WASTETAPEBOX…………………………………………………………… 156 7.3.6. 残テープボックス………………………………………………
…
156
7.4. TRAYUNIT-M…………………………………………………………………………
…
158 7.4. トレイユニット-M…………………………………………………………
…
158

8.1. MCU--MODULECHANGEOVERUNIT--…………………………………………………
…
194 8.1. MCU--モジュール交換台車--……………………………………………
…
194
8.2. PANELSTAND…………………………………………………………………………
…
218 8.2. パネルスタンド……………………………………………………………
…
218
8.3. TRAYPALLETSTAND…………………………………………………………………
…
220 8.3. トレイパレットスタンド…………………………………………………
…
220
8.4. SPLICINGTAPESTAND………………………………………………………………
…
222 8.4. スプライシングテープスタンド…………………………………………
…
222
8.5. MSU--MODULESTORAGEUNIT--……………………………………………………
…
226 8.5. MSU--モジュール置き台--………………………………………………
…
226
8.6. PCU--PALLETCHANGEUNIT-- 8.6. PCU--デバイスパレット交換台車--
8.6.1. PCU…………………………………………………………………………
…
230 8.6.1. PCU…………………………………………………………………
…
230
8.6.2. PCU(PALLETSWITHBUCKET)………………………………………………
…
246 8.6.2. PCU(バケット付きパレット用)………………………………
…
246
8.7. PSU--PALLETSTORAGEUNIT-- 8.7. PSU--デバイスパレット置き台--
8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………………
…
260 8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………
…
260
8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………………
…
270 8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………
…
270
9.1. OTHERS…………………………………………………………………………………
…
280 9.1. その他 ……………………………………………………………………
…
280