PTS-NXT-10JE - 第16页
AA05807 R07-010-070 AA20A07 R07-013-070 AA20B07 R07-018-070 AA20C07 R07-025-070 AA20D07 R07-037-070 AA20E07 R07-050-070 AA1AT09 R07-003-070 0.375 1.0 1.3 1.8 2.5 5.0 AA05607 R07-004-070 AA05707 R07-007-070 0.45 0.7 3.75 …
8.1. MCU--MODULECHANGEOVERUNIT--…………………………………………………
…
194 8.1. MCU--モジュール交換台車--……………………………………………
…
194
8.2. PANELSTAND…………………………………………………………………………
…
218 8.2. パネルスタンド……………………………………………………………
…
218
8.3. TRAYPALLETSTAND…………………………………………………………………
…
220 8.3. トレイパレットスタンド…………………………………………………
…
220
8.4. SPLICINGTAPESTAND………………………………………………………………
…
222 8.4. スプライシングテープスタンド…………………………………………
…
222
8.5. MSU--MODULESTORAGEUNIT--……………………………………………………
…
226 8.5. MSU--モジュール置き台--………………………………………………
…
226
8.6. PCU--PALLETCHANGEUNIT-- 8.6. PCU--デバイスパレット交換台車--
8.6.1. PCU…………………………………………………………………………
…
230 8.6.1. PCU…………………………………………………………………
…
230
8.6.2. PCU(PALLETSWITHBUCKET)………………………………………………
…
246 8.6.2. PCU(バケット付きパレット用)………………………………
…
246
8.7. PSU--PALLETSTORAGEUNIT-- 8.7. PSU--デバイスパレット置き台--
8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………………
…
260 8.7.1. M3S-PSU……………………………………………………………
…
260
8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………………
…
270 8.7.2. M6S-PSU……………………………………………………………
…
270
9.1. OTHERS…………………………………………………………………………………
…
280 9.1. その他 ……………………………………………………………………
…
280
AA05807
R07-010-070
AA20A07
R07-013-070
AA20B07
R07-018-070
AA20C07
R07-025-070
AA20D07
R07-037-070
AA20E07
R07-050-070
AA1AT09
R07-003-070
0.375 1.0
1.3
1.8
2.5
5.0
AA05607
R07-004-070
AA05707
R07-007-070
0.45
0.7
3.75
AA06409
R07-013M-070
1.3 MELF
AA19G09
R07-018M-070
1.8 MELF
1.3
AA06509
R07-025M-070
2.5 MELF
2.5
1.8
AA06309
R07-050G-070
5.0G
5.0
AA0WT08
R07-025G-070
2.5G
2.5
AA18C10
R07-037G-070
3.7G
3.75
14.1
14.2
15.1
15.2
1 4
2
3
5
6
7
8
9
10
11
13
14
1512
1.
PARTS
PLACING
/
部品装着
16
PTS-NXT-10JE
Vol.1
1.1.1.H08/H12-NOZZLES
1.1.1.H08/H12-ノズル
No. Drg.No.&CodeNo. QTY Description Rating
Materials
Remarks
番号 図番&ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 AA1AT09 1 NOZZLE ノズル OT R07-003-070
2 AA05607 1 NOZZLE ノズル OT R07-004-070
3 AA05708 1 NOZZLE ノズル OT R07-007-070
4 AA05807 1 NOZZLE ノズル OT R07-010-070
5 AA20A07 1 NOZZLE ノズル OT R07-013-070
6 AA20B07 1 NOZZLE ノズル OT R07-018-070
7 AA20C07 1 NOZZLE ノズル OT R07-025-070
8 AA20D07 1 NOZZLE ノズル OT R07-037-070
9 AA20E07 1 NOZZLE ノズル OT R07-050-070
10 AA06409 1 NOZZLE ノズル OT R07-013M-070
11 AA19G09 1 NOZZLE ノズル OT R07-018M-070
12 AA06509 1 NOZZLE ノズル OT R07-025M-070
13 AA0WT08 1 NOZZLE ノズル OT R07-025G-070
14 AA18C10 1 NOZZLE ノズル OT R07-037G-070
14.1 PB30311 1 SHIM シム FE
14.2 H1194K 1 PAD,VACUUM パットバキューム KPA-2-N OT
15 AA06309 1 NOZZLE ノズル OT R07-050G-070
15.1 PB30311 1 SHIM シム FE
15.2 H1339B 1 PAD,VACUUM パット バキューム KPA-3.5-N OT
1.
PARTS
PLACING
/
部品装着
17
PTS-NXT-10JE
Vol.1