PTS-NXT-10JE - 第604页
5.1. XSLIDE 5.1. X- スライ ド 5.1.1. M3S-X SLIDE …… ……… ……… ……… ……… ……… ……… ……… … … 306 5.1.1. M3S -Xスラ イド… ……… ……… ……… ……… ……… ……… … 306 5.1.2. M6S-X SLIDE …… ……… ……… ……… ……… ……… ……… ……… … … 318 5.1.2. M6S -Xスラ イド… ……… ……

2.1. PARTSCAMERA………………………………………………………………………
…
130 2.1. パーツカメラ………………………………………………………………
…
130
2.2. PARTSCAMERALIGHT………………………………………………………………
…
132 2.2. パーツカメラライト………………………………………………………
…
132
2.3. MARKCAMERA…………………………………………………………………………
…
134 2.3. マークカメラ………………………………………………………………
…
134
2.4. MARKCAMERALIGHT…………………………………………………………………
…
136 2.4. マークカメラライト………………………………………………………
…
136
2.5. PARTSCAMERA(SIDELIGHTTYPE)…………………………………………………
…
138 2.5. パーツカメラ(サイドライト仕様)………………………………………
…
138
2.6. PARTSCAMERALIGHT(SIDELIGHTTYPE)…………………………………………
…
140 2.6. パーツカメラライト(サイドライト仕様)………………………………
…
140
2.7. PARTSCAMERA(HIGHRESOLUTIONCAMERA)…………………………………………
…
142 2.7. パーツカメラ(高分解能カメラ)…………………………………………
…
142
2.8. PARTSCAMERALIGHT(HIGHRESOLUTIONCAMERA)…………………………………
…
144 2.8. パーツカメラライト(高分解能カメラ)…………………………………
…
144
3.1. BASE 3.1. ベース
3.1.1. 2M-BASE……………………………………………………………………
…
146 3.1.1. 2M-ベース………………………………………………………
…
146
3.1.2. 2M-BASECONTROLBOX……………………………………………………
…
176 3.1.2. 2M-ベース-コントロールBOX………………………………
…
176
3.1.3. 4M-BASE……………………………………………………………………
…
186 3.1.3. 4M-ベース………………………………………………………
…
186
3.2. EXTERNALVACUUMPUMP……………………………………………………………
…
228 3.2. 増設バキュームポンプ……………………………………………………
…
228
3.3. BASELINKINGPARTS………………………………………………………………
…
230 3.3. ベース連結部品……………………………………………………………
…
230
4.1. BED 4.1. ベッド
4.1.1. M3S-BED……………………………………………………………………
…
232 4.1.1. M3S-ベッド………………………………………………………
…
232
4.1.2. M6S-BED……………………………………………………………………
…
256 4.1.2. M6S-ベッド………………………………………………………
…
256
4.2. COVER 4.2. カバー
4.2.1. M3S-TOPCOVER……………………………………………………………
…
280 4.2.1. M3S-トップカバー………………………………………………
…
280
4.2.2. M6S-TOPCOVER……………………………………………………………
…
284 4.2.2. M6S-トップカバー………………………………………………
…
284
4.2.3. SIDECOVER-RIGHT………………………………………………………… 288 4.2.3. サイドカバー右…………………………………………………
…
288
4.2.4. SIDECOVER-LEFT…………………………………………………………
…
292 4.2.4. サイドカバー左…………………………………………………
…
292
4.2.5. SEAMLESSCOVER-BETWEENBASE…………………………………………
…
296 4.2.5. シームレスカバーベース間…………………………………
…
296
4.2.6. SEAMLESSCOVER-BETWEENMODULE………………………………………
…
300 4.2.6. シームレスカバーモジュール間……………………………
…
300
4.2.7. SEAMLESSCOVER-MODULERIGHTSIDE…………………………………… 302 4.2.7. シームレスカバーモジュール右側…………………………
…
302
4.2.8. SEAMLESSCOVER-MODULELEFTSIDE……………………………………
…
304 4.2.8. シームレスカバーモジュール左側…………………………
…
304

5.1. XSLIDE 5.1. X-スライド
5.1.1. M3S-XSLIDE………………………………………………………………
…
306 5.1.1. M3S-Xスライド…………………………………………………
…
306
5.1.2. M6S-XSLIDE………………………………………………………………
…
318 5.1.2. M6S-Xスライド…………………………………………………
…
318
5.2. YSLIDE 5.2. Y-スライド
5.2.1. M3S-YSLIDE………………………………………………………………
…
326 5.2.1. M3S-Yスライド…………………………………………………
…
326
5.2.2. M6S-YSLIDE………………………………………………………………
…
334 5.2.2. M6S-Yスライド…………………………………………………
…
334

CONTENTS
6.1. SINGLECONVEYOR 6.1. シングルコンベア
6.1.1. M3S-SINGLECONVEYOR……………………………………………………
…
16 6.1.1. M3S-シングルコンベア…………………………………………
…
16
6.1.2. M6S-SINGLECONVEYOR……………………………………………………
…
54 6.1.2. M6S-シングルコンベア…………………………………………
…
54
6.1.3. M6S-SINGLECONVEYORS…………………………………………………
…
94 6.1.3. M6S-シングルコンベアS………………………………………
…
94
6.2. DOUBLECONVEYOR 6.2. ダブルコンベア
6.2.1. M3S-DOUBLECONVEYOR……………………………………………………
…
118 6.2.1. M3S-ダブルコンベア……………………………………………
…
118
6.2.2. M6S-DOUBLECONVEYOR……………………………………………………
…
180 6.2.2. M6S-ダブルコンベア……………………………………………
…
180
6.3. BACK-UPPINS 6.3. バックアップピン
6.3.1. M3S-AUTOBACK-UPPINS…………………………………………………
…
222 6.3.1. M3S-自動バックアップピン……………………………………
…
222
6.3.2. M6S-AUTOBACK-UPPINS…………………………………………………
…
224 6.3.2. M6S-自動バックアップピン……………………………………
…
224
6.3.3. M6S-AUTOBACK-UPPINS(SINGLECONVEYORS)………………………… 226 6.3.3. M6S-自動バックアップピン(シングルコンベアS)…………
…
226
6.3.4. SOFTBACK-UPPINS………………………………………………………
…
228 6.3.4. ソフトバックアップピン………………………………………
…
228
6.4. BACK-UPPLATE 6.4. バックアッププレート
6.4.1. M3S-BACKUPPLATE………………………………………………………
…
230 6.4.1. M3S-バックアッププレート……………………………………
…
230
6.4.2. M6S-BACKUPPLATE………………………………………………………
…
234 6.4.2. M6S-バックアッププレート……………………………………
…
234
6.5. PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION 6.5. 基板停止位置補正機能
6.5.1. M3S-PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION…………………………… 236 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
236
6.5.2. M6S-PANELPOSITIONCORRECTIONFUNCTION…………………………… 238 6.5.2. M6S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
238
6.6. ROLLERCONVEYOR 6.6. ローラ搬送コンベア
6.6.1. M3S-ROLLERCONVEYOR(SINGLECONVEYOR)……………………………… 240 6.6.1. M3S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
240
6.6.2. M3S-ROLLERCONVEYOR(DOUBLECONVEYOR)……………………………… 242 6.6.2. M3S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
242
6.6.3. M6S-ROLLERCONVEYOR(SINGLECONVEYOR)……………………………… 244 6.6.3. M6S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
244
6.6.4. M6S-ROLLERCONVEYOR(DOUBLECONVEYOR)……………………………… 246 6.6.4. M6S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
246