JM-50_FCS使用说明书 - 第50页
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FCS使用说明书
3-5
Head 偏移量
用[取得偏移量] 框选择项目,按照[基本偏移量调整] 画面及各操作画面所显示的指示进行测量。
有关各操作画面的详细操作,请参照『JM-50 操作说明书』的「10章 自己诊断功能」的说明。
3D 传感器摄像机偏移量
在[取得偏移量] 框选择项目,按照[基本偏移量调整] 画面及各操作画面所显示的指示进行测量。
有关各操作画面的详细操作,请参照『JM-50 操作说明书』的「10章 自己诊断功能」的说明。
CPK 规格值(参考)
根据交付的规格书,将“3σ”与“平均值”相加的值作为规格值。总体数量很少,是使用0603C、
模具元件的值,所以本CPK值为参考值。
表 3-5 与定心方式、Head、识别元件对应的规格值
定心方式
Head
识别元件
XY
规格值
[mm]
θ规格值
[
°
]
激光 1~4 Head(LNC120
)
0603C
±0.05
±2.5
FCS 模具芯片 B ±0.3
3D 传感器 1~4 Head 校准片 3D ±0.04 ±0.2

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2021.6 Printed in Japan