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9 Maintenance SIPLACE 80S-20/F4/F5 Us er Manual 05/99 Issue f rom Software Version SR.405.xx 9 - IV

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SIPLACE 80S-20/F4/F5 User Manual 9 Maintenance
05/99 Issue from Software Version SR.405.xx
9 - III
9.6.4.1 Replacing the Silencer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 68
9.6.5 Cleaning the Vacuum Nozzle and O-Rings, Checking and Greasing the O-Rings . . . . . . . 9 - 69
9.6.5.1 Preparatory Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 69
9.6.5.2 Maintenance of the Vacuum Nozzle and O-Rings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 69
9.6.6 Maintenance of the Nozzles. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 72
9.6.6.1 Preparatory Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 72
9.6.6.2 Checking and Maintaining the Nozzles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 73
9.6.6.3 Replacing the Diaphragm of the Nozzles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 75
9.6.6.4 Inserting Nozzles into the Nozzle Changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 76
9.6.7 IC-Head Nozzle Survey . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 77
9.7 6x Revolver Head (8000) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 79
9.7.1 Overview of Star Stations 1 - 6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 80
9.7.2 Sleeve. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 81
9.7.2.1 Removing the Sleeve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 81
9.7.2.2 Installing the Sleeve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 81
9.7.2.3 Sleeve Vacuum Test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 82
9.7.2.4 Cleaning Sleeve and Segment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 82
9.7.2.5 Replacing the Snap O-Ring in the Sleeve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 84
9.7.3 Changing the Nozzle Manually. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 85
9.7.4 Replacing the Silencer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 86
9.7.5 Greasing the Z Drive Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 87
9.7.6 Cleaning Vacuum/Forced Air Valves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 88
9.7.6.1 Removing the Valve Plunger . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 88
9.7.6.2 Cleaning the Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 89
9.7.6.3 Replacing the safety O-ring on the valve plunger. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 91
9.7.6.4 Error Messages that Suggest that the Valves are Moving Too Freely . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 92
9.7.7 6x Revolver Head Nozzle Survey. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 92
9.8 Wafflepack Changer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 93
9.8.1 Cleaning the Air Filter of the Electronic Plug-in Unit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 93
9.8.2 Maintaining the Wafflepack Changer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 94
9.8.3 Preparatory Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 95
9.8.4 Maintenance of the Guide Rails . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 95
9.8.5 Maintenance of the Spherical Rotating Liners of the Z-Lift Axis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 95
9.8.6 Concluding Work . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 97
9.9 Camera Systems and Coplanarity Laser Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 99
9.9.1 PCB Camera System in the SIPLACE 80S-20, 80F4, or 80F5 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 99
9.9.2 Component Camera System at the 12x Revolver Head (SIPLACE 80S-20 and 80F4) . . . 9 - 99
9.9.3 Component Camera System at the 6x Revolver Head (SIPLACE 80F5). . . . . . . . . . . . . . . 9 - 99
9.9.4 Component Camera Systems for the IC Head (SIPLACE 80F4 or 80F5) . . . . . . . . . . . . . . 9 - 99
9.9.4.1 Cleaning Reflecting Surfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 99
9.9.4.2 Cleaning the Glass Disk. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 100
9.9.5 Coplanarity Laser Module (SIPLACE 80F4 or 80F5) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 102
9.9.5.1 Safety Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9 - 102
9.9.5.2 Cleaning the Glass. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 - 103
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