KE-3010_KE-3020V_KE-3020VR-Rev04 - 第19页
- 10 - N OTE ( 注記 ) # 01....UNTIL M/C REV .D マシン REV.D まで #0 2 . . .. A FT E R M/C R E V.E マシン REV.E 以降 RE F.NO NOTE P A RT NO D E S C R I P T I O N 品 名 Q ty 1 4 01-14 5 38 V ACUUM PUM P ASM 真空ポンプ組 1 2 4 00-99 5 48 V ACU…

- 9 -
5. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(1)
ベースフレーム電装関係(1)
7
20
19
1
15
15
17
18
14
13
8
6
5
4
16
3
2
12
11
10
9
21
22
31
26
29 30
27 28
23 25

- 10 -
NOTE( 注記 ) #01....UNTIL M/C REV.D マシン REV.D まで
#02....AFTER M/C REV.E マシン REV.E 以降
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-14538 VACUUM PUMP ASM
真空ポンプ組
1
2 400-99548 VACUUM PUMP
真空ポンプ
(1)
3 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
(1)
4 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
(1)
5 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
(1)
6 401-14034 VAC PUMP PLATE 真空ポンププレート (1)
7 401-14035 VAC PUMP BR
真空ポンプブラケット
(1)
8 400-71571 HANDLE
ハンドル
(1)
9 400-54839 SOFT NYLON 8
ソフトナイロン8
(1 3)
10 PJ-3040800-02 ELBOW UNION
エルボ
(9)
11 PJ-3030800-01 UNION STRAIGHT
ユニオンストレート
(2)
12 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
(2)
13 SM-1040852-TP DISH SCREW
皿ねじ M 4 L =8
(2)
14 SM-1051052-TN PLATE SCREW M5 L=10
皿ねじ M 5 L =10
(4)
15 SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト M 6 L =14
(4)
16 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ (樹脂製)
(1)
17 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
(1)
18 CM-3003000-02 HIGH TEMPARATURE CAUTION LABEL 2 (25)
高温注意シール2(25)
(1)
19 400-94471 BASE SUPPORT
ベースサポート
3
20 SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト M 6 L =14
4
21
#01
401-14539 BREAKER ASSY
ブレーカ組
1
22 401-14027 BREAKER BR
ブレーカブラケット
(1)
23 HA-0063300-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
24 HA-0064400-00 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
25 HA-0063400-10 CIRCUIT PROTECTOR
サーキットプロテクタ
(1)
26 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ M 4 L =8
(4)
27 401-14041 BREAKER BASE
ブレーカベース
(1)
28 SL-6061492-TN SCREW M6 L=14
座金付き六角穴ボルト M 6 L =14
2
29
#02
401-35776 BREAKER_ASM
ブレーカー _ 組
1
30 #02 401-35992 BREAKER_BR ブレーカー BR (1)
31
#02
401-35993 BREAKER_BASE
ブレーカーベース
(1)

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6. BASE FRAME ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS(2)
ベースフレーム電装関係(2)
1 4
45 46
47 48
12
18 19
17
51
7
5
6
50
49
42
43
44
52
53
15 16
10
13 14
11
35 41
22 23
8 9
75 77
57
59
58
61
60
73
74
78 79
66 67
67 68 55
56
64 65
64 65
56
56 69
7071 72
62 63
54
28 34
22 25
20 21
26 27
14 15