JUKYX-193-5100_G5S2 - 第104页
193-5100 JUKYX 3-10 Symbol Name Remarks A31F A31B A31B A31F 15 Fig_3-10A
193-5100
JUKYX
3-9
Symbol Name Remarks
U81
CPU
U82
U85 AE-LINK/HSIO
PCB
UC16
LAN
UP
DN
T
DI-1CH
DI-2CH
SELIAL1 SELIAL2
USB1
USB2
USB3
USB4
X8500
X8501
X8502
X85UP
X85DN
X85T
X8203
X8204
X8109
X8104
X8202
X8201
X8102
U85 U82 U81
12
Fig_3-9A_CPU2
193-5100
JUKYX
3-10
Symbol Name Remarks
A31F
A31B
A31B
A31F
15
Fig_3-10A
193-5100
JUKYX
3-11
CNP1
DC電源ユニット
I/O基板(集約基板)
リレー基板パネル
XYモータアンプユニット(後)
真空ポンプ
13
8
14
10
6
Fig_3-11A