JUKYX-193-5100_G5S2 - 第88页
193-5100 JUKYX 2-15 記 号 名 称 記 号 名 称 M41 NL-L B11002 左基板検出センサ M42 NA-L B21002 中基板検出センサ M43 NR-L B11003 左基板ファイバセンサ M44 NA-W B21003 右基板ファイバセンサ B0836 バックアップピン検出センサ受光 B11004 右基板…
193-5100
JUKYX
2-14
記 号 名 称 記 号 名 称
Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1
Y_UP1 高速ノズルストッカ 2 上昇 1
B_DWN1 高速ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1
B_SH1 高速ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1
B_CMP1 高速ノズルストッカ 2 クランプ確認 1
B_CMP1
B_DWN1
B_SH1
Y_OP1
Y_SH
Fig_2-14S
193-5100
JUKYX
2-15
記 号 名 称 記 号 名 称
M41 NL-L B11002 左基板検出センサ
M42 NA-L B21002 中基板検出センサ
M43 NR-L B11003 左基板ファイバセンサ
M44 NA-W B21003 右基板ファイバセンサ
B0836 バックアップピン検出センサ受光 B11004 右基板検出センサ
B0836T バックアップピン検出センサ投光 B0830 左基板ストッパ 下限検出
B0831 左基板ストッパ 上限検出
B0832 右基板ストッパ 下限検出
B0833 右基板ストッパ 上限検出
M41 M42 M43
B11002
B21002
B0830
B0831
B11004
B0832
B0833
B11003 B21003
M44
B0836
B0836T
Fig_2-15SA
193-5100
JUKYX
2-16
記 号 名 称 記 号 名 称
Y1001 Z クランプ左 2 シリンダバルブ下降 Y0810 Z クランプ左シリンダバルブ下降
Y1002 Z クランプ左 2 シリンダバルブ上昇 Y0811 Z クランプ左シリンダバルブ上昇
B11104 バックアップ左 原点センサ Y0812 Z クランプ右シリンダバルブ下降
B21104 バックアップ左 脱調検出センサ Y0813 Z クランプ右シリンダバルブ上昇
B11108 バックアップ右 原点センサ Y0814 左基板ストッパ昇降バルブ
B21108 バックアップ右 脱調検出センサ Y0815 右基板ストッパ昇降バルブ
M45 バックアップ左 モータ
M46 バックアップ右 モータ
B11104
B11108
B1005
Y0811 Y0810
Y0813 Y0812
Y1002 Y1001
Y0814
Y0815
M45
M46
B21104
B21108
Fig_2-16SA.ai