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193-5100 JUKYX 2-18 記 号 名 称 記 号 名 称 Y0632 フィーダベース 2 上昇 Y0932 フィーダベース 1 上昇 Y0633 フィーダベース 2 下降 Y0933 フィーダベース 1 下降 Y0642 基板位置決め落下防止ストッパ 2 Y0942 基板位置決め落下防止ストッパ 1 B0515 吸着ミス検出 ( 前 ) B0514 吸着ミ…
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2-17
記 号 名 称 記 号 名 称
B61 部品認識カメラ
E191 部品認識リング照明
E192 部品認識同軸照明
E193 基準マーク照明 A
E191
E193
E192
B61
Fig_2-17S
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2-18
記 号 名 称 記 号 名 称
Y0632 フィーダベース 2 上昇 Y0932 フィーダベース 1 上昇
Y0633 フィーダベース 2 下降 Y0933 フィーダベース 1 下降
Y0642 基板位置決め落下防止ストッパ 2 Y0942 基板位置決め落下防止ストッパ 1
B0515 吸着ミス検出 ( 前 ) B0514 吸着ミス検出 ( 後 )
B0521 フック外れ検出 ( 前 ) B0520 フック外れ検出 ( 後 )
B0515,0521Amp
アンプ
B0514,0520Amp
アンプ
B0610 フィーダベース 2 Y 方向位置決め確認 1 B0910 フィーダベース 1 Y 方向位置決め確認 1
B0611 フィーダベース 2 Y 方向位置決め確認 2 B0911 フィーダベース 1 Y 方向位置決め確認 2
B0614 シリンダ上限検出 ( 前 ) B0914 シリンダ上限検出 ( 後 )
B0615 シリンダ下限検出 ( 前 ) B0915 シリンダ下限検出 ( 後 )
B0521
B0520
B0515
B0514
Y0632,Y0932
Y0933,Y0933
B0614,B0615
B0914,B0915
B0611
B0911
B0515,0521 Amp
B0514,0520 Amp
Y0642
Y0942
B0610
B0910
B0521
B0520
B0515
B0514
上段：前面
下段：後面
Fig_2-18S
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2-19
記 号 名 称 記 号 名 称
M141 ノズル Z 軸モータ B143 高さ検出センサ
M142 ノズル L 軸モータ B144 L 軸 - オーバーラン
Y145 真空バルブ
Y146 真空破壊バルブ
Y146
M142(1L,2L,3L)
M141(1Z,2Z,3Z)
B144
NOZZLE1
NOZZLE2
NOZZLE3
Y145
B143
Fig_2-19SA