JUKYX-193-5100_G5S2 - 第92页
193-5100 JUKYX 2-19 記 号 名 称 記 号 名 称 M141 ノズル Z 軸モータ B143 高さ検出センサ M142 ノズル L 軸モータ B144 L 軸 - オーバーラン Y145 真空バルブ Y146 真空破壊バルブ Y146 M142(1L,2L,3L) M141(1Z,2Z,3Z) B144 NOZZLE1 NOZZLE2 NOZ…
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JUKYX
2-18
記 号 名 称 記 号 名 称
Y0632 フィーダベース 2 上昇 Y0932 フィーダベース 1 上昇
Y0633 フィーダベース 2 下降 Y0933 フィーダベース 1 下降
Y0642 基板位置決め落下防止ストッパ 2 Y0942 基板位置決め落下防止ストッパ 1
B0515 吸着ミス検出 ( 前 ) B0514 吸着ミス検出 ( 後 )
B0521 フック外れ検出 ( 前 ) B0520 フック外れ検出 ( 後 )
B0515,0521Amp
アンプ
B0514,0520Amp
アンプ
B0610 フィーダベース 2 Y 方向位置決め確認 1 B0910 フィーダベース 1 Y 方向位置決め確認 1
B0611 フィーダベース 2 Y 方向位置決め確認 2 B0911 フィーダベース 1 Y 方向位置決め確認 2
B0614 シリンダ上限検出 ( 前 ) B0914 シリンダ上限検出 ( 後 )
B0615 シリンダ下限検出 ( 前 ) B0915 シリンダ下限検出 ( 後 )
B0521
B0520
B0515
B0514
Y0632,Y0932
Y0933,Y0933
B0614,B0615
B0914,B0915
B0611
B0911
B0515,0521 Amp
B0514,0520 Amp
Y0642
Y0942
B0610
B0910
B0521
B0520
B0515
B0514
上段：前面
下段：後面
Fig_2-18S
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JUKYX
2-19
記 号 名 称 記 号 名 称
M141 ノズル Z 軸モータ B143 高さ検出センサ
M142 ノズル L 軸モータ B144 L 軸 - オーバーラン
Y145 真空バルブ
Y146 真空破壊バルブ
Y146
M142(1L,2L,3L)
M141(1Z,2Z,3Z)
B144
NOZZLE1
NOZZLE2
NOZZLE3
Y145
B143
Fig_2-19SA
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2-20
記 号 名 称 記 号 名 称
Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1
Y_UP1 多機能ノズルストッカ 2 上昇 1
B_DWN1 多機能ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1
B_SH1 多機能ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1
B_CMP1 多機能ノズルストッカ 2 クランプ確認 1
B_1611 多機能ノズルストッカ 2 浮き検出
B_DWN1
B_SH1
Y_UP1
Y_SH
B_CMP1
B1611
Fig_2-20S