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193-5100 JUKYX 2-20 記 号 名 称 記 号 名 称 Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1 Y_UP1 多機能ノズルストッカ 2 上昇 1 B_DWN1 多機能ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1 B_SH1 多機能ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1 B_CMP1 多機能ノズルストッカ 2 クランプ確認 1 B…
193-5100
JUKYX
2-19
記 号 名 称 記 号 名 称
M141 ノズル Z 軸モータ B143 高さ検出センサ
M142 ノズル L 軸モータ B144 L 軸 - オーバーラン
Y145 真空バルブ
Y146 真空破壊バルブ
Y146
M142(1L,2L,3L)
M141(1Z,2Z,3Z)
B144
NOZZLE1
NOZZLE2
NOZZLE3
Y145
B143
Fig_2-19SA
193-5100
JUKYX
2-20
記 号 名 称 記 号 名 称
Y_SH ノズルストッカ 2 シャッタ開閉 1
Y_UP1 多機能ノズルストッカ 2 上昇 1
B_DWN1 多機能ノズルストッカ 2 ユニット下限検出 1
B_SH1 多機能ノズルストッカ 2 シャッタ閉確認 1
B_CMP1 多機能ノズルストッカ 2 クランプ確認 1
B_1611 多機能ノズルストッカ 2 浮き検出
B_DWN1
B_SH1
Y_UP1
Y_SH
B_CMP1
B1611
Fig_2-20S
