N7202A029B40_SPG_Parts List - 第163页
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27
マスククリーニングユニット制御:SPG
Mask Cleaning Unit (H):SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142536AB
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S135
( KN610142536AB-00 )
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
27
マスククリーニングユニット制御:SPG
Mask Cleaning Unit (H):SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142536AB
Part Name
備考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
Sensor Connection Board
2
1 MTKB000033AA PNF0A8-AA
SCREW
2
2 XYN4+J8FN
Cross recessed Pan head machine screw with SW & SPW M4X8-4.8 E2U
S136
--
( KN610142536AB-00 )
28
マスククリーニングユニット配線:SPG
Mask Cleaning Unit Wiring:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142537AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S137
( KN610142537AA-05 )