N7202A029B40_SPG_Parts List - 第87页
12-C XYθテーブル:SPG ｲﾗｽﾄ No. 品名 品番 数量 パーツリスト キット品番 キット名称 備考 セクションNo. - - ( KN610 140069AA -09-3 )
12-C
XYθテーブル:SPG
パーツレイアウト
キット品番
キット名称
セクションNo.
--
( KN610140069AA-09-3 )
12-C
XYθテーブル:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
品名品番 数量
パーツリスト
キット品番
キット名称
備考
セクションNo.
--
( KN610140069AA-09-3 )
13
XYテーブル制御:SPG
X-Y Table(H):SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610142534AB
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
S61
( KN610142534AB-00 )