FX3_MSP_Rev1.0_C - 第100页
Rev1.00 MS 参数 5-8 ⑤ “ 到达真空状况 ” 的测定结束后，按下 “ 确认 ” 按钮，测定 “ 自然破坏状况 ” 。 ⑥ 计测结束后，会显示以下图表。 ⑦ “ 自然破坏状况 ” 的测定结束后，按下 “ 确认 ” 按钮，测定 “ 加压破坏状况 ” 。
Rev1.00
MS 参数
5-7
② 从“选择设备”、“设置Head”中选择要进行调整确认的Head。
③ 要是Head上装有吸嘴，则卸下吸嘴，为了测定“到达真空状况”按下“操作”框内的“确认”按钮。
④ 计测结束后，显示以下图表。
Rev1.00
MS 参数
5-8
⑤ “到达真空状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“自然破坏状况”。
⑥ 计测结束后，会显示以下图表。
⑦ “自然破坏状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“加压破坏状况”。
Rev1.00
MS 参数
5-9
⑧ 计测结束后，显示以下图表。
⑨ “加压破坏状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“吹气时间”。
⑩ “吹气时间”的测定结束后，请按下“确认”按钮返回初始画面。