FX3_MSP_Rev1.0_C - 第34页
Rev1.00 MS 参数 3-4 3-1-3 操作 ① 选择 “ 偏移量设置（ O ） ”—“ 激光 / 传感器偏移量（ L ） ” 后，会显示设置激光偏移量的对话框。 请从 “ 选择设备 ” 和 “ 选择 Head 吸嘴 ” 中选择作为设置对象的 设备和 Head 吸嘴。 ② 如果要测量的 Head 装有吸嘴，卸下吸嘴，点击 “ 操作 ” 框内的 “ 基准位置测量 ” 按钮。如选择 “ 确 定 ” ，即进行吸嘴套高度的检测。 ③ 请…
Rev1.00
MS 参数
3-3
3-1-1-2 吸嘴旋转中心
吸嘴旋转中心，是取得各Head之轴的旋转中心位置位于激光传感器的哪个位置。
图3-1-1-2 吸嘴旋转中心
3-1-1-3 角度偏移量
角度偏移量，是为了使轴的旋转偏摆方向与所有的吸嘴相一致而从轴的虚拟原点取得角度。
轴的转动轨迹
轴的转动中心
临时原点时的轴位置
轴位置
轴的转动中心
轴的转动轨迹
＜取得角度偏移量前的原点复位后情况＞ ＜取得角度偏移量后的原点复位情况＞
图3-1-1-3 角度偏移量
3-1-2 使用模具
• 508吸嘴（40001346） • 模具吸嘴LNC Head用（40046647）
LNC60 Head
吸嘴旋转中心（L1～L6）
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MS 参数
3-4
3-1-3 操作
① 选择“偏移量设置（O）”—“激光/传感器偏移量（L）”后，会显示设置激光偏移量的对话框。
请从“选择设备”和“选择Head吸嘴”中选择作为设置对象的设备和Head吸嘴。
② 如果要测量的Head装有吸嘴，卸下吸嘴，点击“操作”框内的“基准位置测量”按钮。如选择“确
定”，即进行吸嘴套高度的检测。
③ 请根据指示，在被设定的Head上安装508吸嘴。
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MS 参数
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④ 确认吸嘴安装状态后，按“确定”，被设定的Head即执行吸嘴的高度检测，移动到校准台上。
⑤ 请确认，被测量的Head上安装的508吸嘴已移动到校准台上平坦的部分（无孔的部分）。如尚
未移动到平坦的部分，请利用示教，把被测量的Head上安装的508吸嘴移动到校准台上平坦的
部分。
按下“基板上面高度”按钮，被设定的Head即开始计测基板上面高度。
• 计测内容
① 启动Head的真空，读入真空值。此时，若真空值低于-80KPa，即出错。
② 降下Z轴，计测真空值低于-80KPa的位置。
③ 根据第②步计测到的位置和计测用的吸嘴长度，算出基板上面高度并更新。
⑥ 从被设定Head上卸下全部508吸嘴，将模具吸嘴装到被指定的Head上，按下“确定”按钮，即进
行激光测量高度计测。
计测结束后，根据计测结果算出激光高度偏移量，利用激光计测吸嘴旋转中心。
计测结束后，根据计测结果算出吸嘴旋转中心并进行更新。