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Rev1.00 MS 参数 3-26 ⑥ 虚拟高度的计测结束后，请按 “ 确认 ” 按钮。 “ 确认 ” 按钮被 选择后， HMS 向校准 台第 1 标记位置 移去。 当出现以下对话框时， 请利用 HMS 示教逐步移动 Head ， 使传感器光与校准台的第 1 标记相一致。 ※ 此时，确认传感器被断开（传感器头的 LED 双方均闪烁，示教画面的 Z 坐标值不被显示），结 束示教，点击 “ 确认 ” 按钮。 “ 确认 ” 按钮被选择后，开…
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MS 参数
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② 从“选择设备”中，选择要调整的设备。
③ 从“选择设备”中选择要调整的设备，按下“操作”框内的“确认”按钮。
按下后，为了确认校准台上没有模具之类，进行Head退避。
④ 请确认校准台上没有模具之类。
确认完毕后，按下“操作”框内的“确认”按钮。指定的Head单元以HMS基准移动到校准台上。
⑤ 将显示以下操作内容，故利用示教移动Head，使传感器光射到校准台的平坦部分。此时，请确
认传感器被启动（传感器头的LED双方均亮灯），按下“确认”按钮。“确认”按钮被按下后，将
通过传感器测量装配的虚拟高度。
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MS 参数
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⑥ 虚拟高度的计测结束后，请按“确认”按钮。“确认”按钮被选择后，HMS向校准台第1标记位置
移去。
当出现以下对话框时，请利用HMS示教逐步移动Head，使传感器光与校准台的第1标记相一致。
※ 此时，确认传感器被断开（传感器头的LED双方均闪烁，示教画面的Z坐标值不被显示），结
束示教，点击“确认”按钮。“确认”按钮被选择后，开始通过HMS传感器计测校准台第1标记的
位置。
• 计测内容
① 根据利用HMS取得的高度之差，计测校准台第1标记的中心位置。
② 根据第①步中算出的第1标记的中心位置和已知的校准台第1标记的位置，算出装配位置
并进行更新。
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⑦ HMS的XY偏移量的计测结束后，请按“确认”按钮，再次进行高度计测。
• 计测内容
① 分别计测校准台上的9处高度。
② 在取得的9处高度中，去除最高2处、最低2处，将剩余的5处之平均值作为装配高度，
并进行更新。
⑧ 所有的计测结束后，会显示以下的对话框。
按下“确认”后，返回初始设置画面，或者如有尚未设置的设备则继续进行设置。
3-8-4 MSP容许值
MSP值不良时 No. 项目 MSP容许值
出现的问题 检测（更换）项目
X ±2mm
1 装配位置
Y ±2mm
2 装配高度 Z ±0.5mm
吸取高度示教不良 装配位置精度