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Rev1.00 MS 参数 3-53 ⑧ 如测量位置 有偏移， 利用示教调整 好位置， 按下 “ 确认 ” 按钮。 “ 确认 ” 按钮被按下后， 进行 CVS 的高度测量。 • 自动计测内容 ① 启动 Head 的真空，读入真空值。此时，若真空值低于 − 80KPa ，即作为出错。 ② 下降 Z 轴，使与 CVS 装置接触。 ③ 进一步下降 Z 轴，测量真空值低于 − 80KPa 的位置。 ④ 根据第 ③ 步计测到的位置和用于计测的吸嘴…
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MS 参数
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⑥ 模具吸嘴的计测结束后，将显示以下的对话框信息，故请卸下模具吸嘴，安装505吸嘴。
⑦ “确认”按钮被按下后，即计测505吸嘴的长度，移动到CVS上。
※ 如在未安装吸嘴的状态下按下“确认”按钮，请按照对话框指示安装505吸嘴。
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MS 参数
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⑧ 如测量位置有偏移，利用示教调整好位置，按下“确认”按钮。“确认”按钮被按下后，进行CVS
的高度测量。
• 自动计测内容
① 启动Head的真空，读入真空值。此时，若真空值低于−80KPa，即作为出错。
② 下降Z轴，使与CVS装置接触。
③ 进一步下降Z轴，测量真空值低于−80KPa的位置。
④ 根据第③步计测到的位置和用于计测的吸嘴的长度，算出装配高度并进行更新。
⑨ 计测结束后，将显示以下操作说明，故请按照拆卸指示卸下吸嘴。
吸嘴拆卸完成后，按“确认”按钮，返回初始画面。
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MS 参数
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3-16 SOT方向检查台
3-16-1 功能
设定SOT方向检查台的装配位置、装配高度。
3-16-2 使用模具
• E2101998000:模具吸嘴 • 505吸嘴（40001343）
3-16-3 操作
① 选择“偏移量设置（O）”－“偏移量（T）...”，会显示以下所示的设置SOT方向检查台偏移量的
对话框。