FX3_MSP_Rev1.0_C - 第95页
Rev1.00 MS 参数 5-3 ④ 设备选择、 照明值的设置结束后 , 按下 “ 操作 ” 框内的 “ 确认 ” 按钮。 选择 “ 确认 ” 按钮后, 以 OCC 基准移动到校准台上。 ⑤ 设备移动到校准台附近时, 将显示以下的操作内容。 按紧急停止按钮, 使伺服处于 OFF 状态后, 设置聚焦模具。 ⑥ 松开用于固定 OCC 的螺丝, 上下移动, 将高度 调整到当前值基本达到最大的位置 上, 调整完 成 后,选择 “ 确认 ” 。…

Rev1.00
MS 参数
5-2
5-1-3 操作
① 从菜单中选择“调整确认”-“确认OCC聚焦”,会显示以下对话框。
② 从“选择设备”的项目中,选择要调整的设备。
③ 选择好要调整的OCC后,在“设置照明值”项目中对角度照明及垂直照明的光量值进行调整。

Rev1.00
MS 参数
5-3
④ 设备选择、照明值的设置结束后,按下“操作”框内的“确认”按钮。选择“确认”按钮后,以OCC
基准移动到校准台上。
⑤ 设备移动到校准台附近时,将显示以下的操作内容。按紧急停止按钮,使伺服处于OFF状态后,
设置聚焦模具。
⑥ 松开用于固定OCC的螺丝,上下移动,将高度调整到当前值基本达到最大的位置上,调整完成
后,选择“确认”。
⑦ 选择“确认”后,会显示以下的操作内容。再选择“确认”,即返还初始画面。

Rev1.00
MS 参数
5-4
5-2 VAC-CAL偏移量(真空校准偏移量)
5-2-1 功能
进行VAC-CAL(真空校准)装配位置的设置。
5-2-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-2-3 操作
① 从菜单中选择“调整确认(C)”-“真空-校准偏移量(V)”,会显示以下对话框。