FX3_MSP_Rev1.0_C - 第95页

Rev1.00 MS 参数 5-3 ④ 设备选择、 照明值的设置结束后 , 按下 “ 操作 ” 框内的 “ 确认 ” 按钮。 选择 “ 确认 ” 按钮后, 以 OCC 基准移动到校准台上。 ⑤ 设备移动到校准台附近时, 将显示以下的操作内容。 按紧急停止按钮, 使伺服处于 OFF 状态后, 设置聚焦模具。 ⑥ 松开用于固定 OCC 的螺丝, 上下移动, 将高度 调整到当前值基本达到最大的位置 上, 调整完 成 后,选择 “ 确认 ” 。…

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Rev1.00
MS 参数
5-2
5-1-3 操作
从菜单中选择调整确认确认OCC聚焦,会显示以下对话框。
选择设备的项目中,选择要调整的设备。
选择好要调整的OCC后,在设置照明值项目中对角度照明及垂直照明的光量值进行调整。
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MS 参数
5-3
设备选择、照明值的设置结束后按下操作框内的确认按钮。选择确认按钮后,OCC
基准移动到校准台上。
设备移动到校准台附近时,将显示以下的操作内容。按紧急停止按钮,使伺服处于OFF状态后,
设置聚焦模具。
松开用于固定OCC的螺丝,上下移动,将高度调整到当前值基本达到最大的位置上,调整完
后,选择确认
选择确认后,会显示以下的操作内容。再选择“确认”,即返还初始画面。
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MS 参数
5-4
5-2 VAC-CAL偏移量(真空校准偏移量)
5-2-1 功能
进行VAC-CAL(真空校准)装配位置的设置。
5-2-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-2-3 操作
从菜单中选择调整确认(C真空-校准偏移量(V,会显示以下对话框。