FX3_MSP_Rev1.0_C - 第96页
Rev1.00 MS 参数 5-4 5-2 VAC-CAL 偏移量（真空校准偏移量） 5-2-1 功能 进行 VAC-CAL （真空校准）装配位置的设置。 5-2-2 使用模具 本项目中不使用模具。 5-2-3 操作 ① 从菜单中选择 “ 调整确认（ C ） ” － “ 真空 - 校准偏移量（ V ） ” ，会显示以 下对话框。
Rev1.00
MS 参数
5-3
④ 设备选择、照明值的设置结束后，按下“操作”框内的“确认”按钮。选择“确认”按钮后，以OCC
基准移动到校准台上。
⑤ 设备移动到校准台附近时，将显示以下的操作内容。按紧急停止按钮，使伺服处于OFF状态后，
设置聚焦模具。
⑥ 松开用于固定OCC的螺丝，上下移动，将高度调整到当前值基本达到最大的位置上，调整完成
后，选择“确认”。
⑦ 选择“确认”后，会显示以下的操作内容。再选择“确认”，即返还初始画面。
Rev1.00
MS 参数
5-4
5-2 VAC-CAL偏移量（真空校准偏移量）
5-2-1 功能
进行VAC-CAL（真空校准）装配位置的设置。
5-2-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-2-3 操作
① 从菜单中选择“调整确认（C）”－“真空-校准偏移量（V）”，会显示以下对话框。
Rev1.00
MS 参数
5-5
② 从“选择设备”中选择要调整的真空校准。
③ 选择要调整的设备后，按下“操作”框内的“确认”按钮。“确认”按钮被按下后，OCC向真空校
准位置移动。
④ 利用示教设定真空校准的位置，按下“确认”按钮后，真空校准的位置被更新。
⑤ 调整结束后，将显示以下的操作内容。选择“确认”，即返还初始画面。