FX3_MSP_Rev1.0_C - 第98页
Rev1.00 MS 参数 5-6 5-3 真空校准 5-3-1 功能 对出厂前在工厂内取得 MS 参数 的真空值，与以真空校准取得的当 前的装置值作比较，进行故 障解 析。 以 MS 参数取得真空值的操作一般 仅在工厂内进行，不必重新取得。 5-3-2 使用模具 本项目中不使用模具。 5-3-3 操作 ① 从 MS 参数菜单中选择 “ 调整确认（ C ） ” － “ 真空校准（ U ） ” ，会显示以 下对话框。
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MS 参数
5-5
② 从“选择设备”中选择要调整的真空校准。
③ 选择要调整的设备后，按下“操作”框内的“确认”按钮。“确认”按钮被按下后，OCC向真空校
准位置移动。
④ 利用示教设定真空校准的位置，按下“确认”按钮后，真空校准的位置被更新。
⑤ 调整结束后，将显示以下的操作内容。选择“确认”，即返还初始画面。
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MS 参数
5-6
5-3 真空校准
5-3-1 功能
对出厂前在工厂内取得MS参数的真空值，与以真空校准取得的当前的装置值作比较，进行故障解
析。
以MS参数取得真空值的操作一般仅在工厂内进行，不必重新取得。
5-3-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-3-3 操作
① 从MS参数菜单中选择“调整确认（C）”－“真空校准（U）”，会显示以下对话框。
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MS 参数
5-7
② 从“选择设备”、“设置Head”中选择要进行调整确认的Head。
③ 要是Head上装有吸嘴，则卸下吸嘴，为了测定“到达真空状况”按下“操作”框内的“确认”按钮。
④ 计测结束后，显示以下图表。