FX3_MSP_Rev1.0_C - 第99页
Rev1.00 MS 参数 5-7 ② 从 “ 选择设备 ” 、“设置 Head” 中选择要进行调整确认的 Head 。 ③ 要是 Head 上装有吸嘴，则卸下吸 嘴，为了测定 “ 到达真空状 况 ” 按下 “ 操作 ” 框内的 “ 确认 ” 按钮。 ④ 计测结束后，显示以下图表。
Rev1.00
MS 参数
5-6
5-3 真空校准
5-3-1 功能
对出厂前在工厂内取得MS参数的真空值，与以真空校准取得的当前的装置值作比较，进行故障解
析。
以MS参数取得真空值的操作一般仅在工厂内进行，不必重新取得。
5-3-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-3-3 操作
① 从MS参数菜单中选择“调整确认（C）”－“真空校准（U）”，会显示以下对话框。
Rev1.00
MS 参数
5-7
② 从“选择设备”、“设置Head”中选择要进行调整确认的Head。
③ 要是Head上装有吸嘴，则卸下吸嘴，为了测定“到达真空状况”按下“操作”框内的“确认”按钮。
④ 计测结束后，显示以下图表。
Rev1.00
MS 参数
5-8
⑤ “到达真空状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“自然破坏状况”。
⑥ 计测结束后，会显示以下图表。
⑦ “自然破坏状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“加压破坏状况”。