FX-2_机器控制参数 - 第126页

◆ 修订履历 改版 日 期 修订页 修订内容 备注 1.0 2008.12 初版

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Rev1.0
机器控制参数
4-99
输入范围
项目
最小值
最大值
单位 备考
6
Y 轴转换等待稳定状态的
行程
0.1
μm
初期值:100000
(10mm)
7
芯片站立检查高度偏移量
0.1
μm
初期值:120
(0.012mm)
8
芯片站立判断高度计算
0 7
0: w>=0.45
1:
0.25<=w<0.45
2: w<0.25
37: 预备
9
真空泵交换时间
s
初期值:
36000000
10 Y-Table heat revision
11 Y-Table Pos offset (Front)
12 Y-Table Pos offset (Rear)
修订履历
改版 修订页 修订内容 备注
1.0 2008.12 初版
2010.04 Printed in Japan
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2-11-1, Tsurumaki, Tama-shi, Tokyo 206-8551, JAPAN
PHONE: 81-42-357-2298 FAX: 81-42-357-2297
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产业
装置事
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