00198373-01_UM_SWS-ZH - 第104页

6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 6.1 吸嘴交换器 版本 04/2018 104 6 请注意 晶圆盘缺失时停止 如果晶圆盘缺失或安装不正确, 会触发 SIPLACE CA4 V2 的安全开关。 触发 SWS 急停功 能。  使用所有已安放的晶圆盘。

100%1 / 140
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 6 选项
版本 04/2018 6.1 吸嘴交换器
103
6选
有关相关配置和其他选项,请参阅相应的规格。
6.1 吸嘴交换器
根据 SIPLACE CA4 V2 上贴片头的配置,使用 SWS 时 SWS 上可能安装有一个吸嘴交换器
SWS 吸嘴交换器和没有 SWS 的装配位置上的吸嘴交换器之间的不同之处在于所它使用的弃置箱
(03070917-01) SWS 的吸嘴交换器有相同构架,唯一不同之处是左侧装配位置 (1 号和 3
号)弃置箱和右侧装配位置(2 号和 4 号)弃置箱的镜像反转位置。 SWS 上可以安装两排吸嘴交
换器。
6.1.1 吸嘴交换器的位置 - 示例
6
图 6.1 - 1 SWS 上的吸嘴交换器 - 示
(1) 吸嘴交换器配置 (示例)
(2) 元件弃置
1
2
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 (SWS)
6.1 吸嘴交换器 版本 04/2018
104
6
请注意
晶圆盘缺失时停止
如果晶圆盘缺失或安装不正确,会触发 SIPLACE CA4 V2 的安全开关。 触发 SWS 急停功
能。
使用所有已安放的晶圆盘。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) 6 选项
版本 04/2018 6.2 可选元件
105
6.2 可选元件
6.2.1 线性浸渍单元 (LDU SWS)
6
图 6.2 - 1 线性浸渍单元 (LDU SWS)
在倒装片处理中,常常需要用到线性浸渍单元 (LDU SWS,Linear Dipping Unit)对晶粒涂覆焊
剂。
LDU SWS 能够涂覆高度精确的焊剂层。 这种焊剂在腔体中可以获得。 腔体的深度决定了焊剂层
的厚度。
6
6
请注意
必须为所有合适的倒装片焊剂类型提供 LDU SWS。
只有在厂内测试完成后才能使用环氧化物和焊膏。
请注意
LDU SWS 切勿和晶粒贴附单元一起使用。