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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.2 可选元件 版本 04/2018 108 6 图 6.2 - 4 条形码扫描仪 - 在晶圆盘升 降机上的安装示例 (1) 条形码扫描仪 1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.2 可选元件
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6.2.3 条形码扫描仪
SWS 上的条形码扫描仪用于读取晶圆框上的条形码。 条形码扫描仪可安装在两个位置：
– 晶圆盘升降机上
– 夹持器上
6
图 6.2 - 3 条形码扫描仪 - 在夹持器上的安装示例
(1) 条形码扫描仪
1
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.2 可选元件 版本 04/2018
108
6
图 6.2 - 4 条形码扫描仪 - 在晶圆盘升降机上的安装示例
(1) 条形码扫描仪
1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
6
可使用 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）选项为两种不同的晶圆支撑 （8" 或 12"）配置 SIPLACE 晶
圆系统 (SWS)。
SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）由以下几种主要的装配件构成。
– 延伸器
延伸器会对晶圆料膜进行延伸，从而提高料膜上各个晶粒之间的距离。 6
– 加热器
加热器由一个加热元件与一个风扇构成。 风扇会将晶圆料膜上的热空气吹走。 这将减少晶圆
料膜的松散现象 （小于 9 mm)，从而使晶圆可被运回至晶圆盘上。 6
请注意
SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）不能在现场进行改造。