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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 111 6 图 6.3 - 2 晶圆支撑与 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 6 1
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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图 6.3 - 1 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器
(1) 含晶圆支撑件和下按装置板的拉伸器框架
(2) 加热器风扇
6.3.1 操作安全须知
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谨慎
高温导致烫伤的危险！
加热所达到的温度最高可达 60°C。
切勿用手触及风扇周边的区域。
触摸晶圆支撑时应小心。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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图 6.3 - 2 晶圆支撑与 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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6.3.2 技术数据
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SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
值
晶圆框 8" 或 12"
晶圆宽度 10.5 " 与 10.8"
拉伸器的重量 （含 8 " 的晶圆支撑） 14 kg
拉伸器的重量 （含 12 " 的晶圆支撑） 15 kg
晶圆框架 （金属与塑料） 最高达 3.5 mm 厚
最低操作气压 4.0 bar
最高操作气压 5.5 bar
整个行程的行进时间 约为 2 秒
下降时间 约为 2 秒
拉伸高度 （可配置）
*a
*)a指定的拉伸高度涉及厚度达 1.5 mm 的晶圆框架。 以下适用于其它晶圆框架厚度：
拉伸高度 = 设置拉伸高度 + 框架厚度 -1.5 mm
2 mm、4 mm、6 mm、8 mm
晶圆对中的夹持速度 0.5 到 1.0 秒
请注意
定义
产品开发阶段将会开展使用各种不同材料的大规模试验。
不过，由于可用的晶圆料膜，以及晶粒尺寸及晶圆框架较多，因此我们无法对所有可想
到的材料做一个综合的功能承诺。
因此，如有任何疑问，新材料都应事先测试