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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 116 6.3.5 为 8" 晶圆支撑设置框架宽度 应为 8" 晶圆支撑设 置晶圆的宽度。 12" 晶圆支撑则不需此设置 。 可处理框架宽度达 10.5 " (FF 105) 或 10.8" (FF 108 ) 的晶圆。 机械调整必须在七个位置 （取决于 框架宽度）…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3.4.2 设置
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图 6.3 - 4 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）- 设置拉伸高度
在所有的四个点 (1) 处将螺钉 (2) 拧松。
将螺钉 (2) 推至所需拉伸高度 （2、4、6 或 8 mm）的位置。
将螺钉 (2) 拧紧。
在这两个点 (3) 上，将螺钉旋转至所需拉伸高度 （2、4、6 或 8 mm）的位置。
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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6.3.5 为 8" 晶圆支撑设置框架宽度
应为 8" 晶圆支撑设置晶圆的宽度。 12" 晶圆支撑则不需此设置。
可处理框架宽度达 10.5" (FF 105) 或 10.8" (FF 108) 的晶圆。 机械调整必须在七个位置 （取决于
框架宽度）上进行。
6.3.5.1 准备
将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。
将晶圆台移动至转换位置。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置。
打开夹具。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 打开晶圆夹具。
– 夹具将打开，而膨胀环将向下移动。
打开扩充器
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 释放拉伸器。
– 下按装置将向上移动。
选择设置 -> 关闭机器。
SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 6
在主开关处关闭 SWS。
谨慎
避免损坏夹持器
当您在晶圆支撑上作业时，夹持器可能会被损坏。
将夹持器朝向晶圆抬升的方向推，将其推离晶圆支撑的作业区。
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版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3.5.2 设置
图 6.3 - 5 晶圆支撑 - 设置框架宽度
将四个点 (1) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (2) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (3) 上的螺钉拧松并将其安装在所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (4) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
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