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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 117 6.3.5.2 设置 图 6.3 - 5 晶圆支撑 - 设置框架宽度 将四个点 (1) 上的螺钉取下并 将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108） 。 将相关点 (2) 上的螺钉取下并 将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108） 。 将相关点 (3) 上的螺钉拧松并 将其…
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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6.3.5 为 8" 晶圆支撑设置框架宽度
应为 8" 晶圆支撑设置晶圆的宽度。 12" 晶圆支撑则不需此设置。
可处理框架宽度达 10.5" (FF 105) 或 10.8" (FF 108) 的晶圆。 机械调整必须在七个位置 （取决于
框架宽度）上进行。
6.3.5.1 准备
将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。
将晶圆台移动至转换位置。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置。
打开夹具。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 打开晶圆夹具。
– 夹具将打开，而膨胀环将向下移动。
打开扩充器
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 释放拉伸器。
– 下按装置将向上移动。
选择设置 -> 关闭机器。
SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 6
在主开关处关闭 SWS。
谨慎
避免损坏夹持器
当您在晶圆支撑上作业时，夹持器可能会被损坏。
将夹持器朝向晶圆抬升的方向推，将其推离晶圆支撑的作业区。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3.5.2 设置
图 6.3 - 5 晶圆支撑 - 设置框架宽度
将四个点 (1) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (2) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (3) 上的螺钉拧松并将其安装在所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (4) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
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6.3.6 转换 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
为了能通过 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）使用各种不同的晶圆尺寸 （8" 与 12"），您需要转换
SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）。
您可以按照以下方式订购 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）：
– 00519717-xx 12 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 6
– 03079734-xx 8 英寸改装套件
或
– 00519719-xx 8 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 6
– 00519720-xx 12 英寸改装套件
以下说明描述了从一个 8" 到 12" 晶圆支撑的转换过程（另请参阅 表 12" 转换至 8 的差异，第 131
页）。