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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 123 取下行程环 您需要更换相关晶圆支撑的行程 环。 图 6.3 - 9 晶圆支撑 - 取下行程环 将固定行程环的 4 个螺钉 (1) 拧松。 将固定盘 (2) 与弹簧 (3) 取下。 请确保用于随后重新安装的固定盘 (2) 与弹簧 (3) 的安全。 将两个传感器 (4) 从 线缆延长 (6) 的连接…
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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将夹具松开
图 6.3 - 8 晶圆支撑 - 将夹具松开
取下夹具 (1) 上轴 (2) 的弹性挡圈。
松开夹具的钩子，这样夹持杆 (3) 便可不受限制 (4)。
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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取下行程环
您需要更换相关晶圆支撑的行程环。
图 6.3 - 9 晶圆支撑 - 取下行程环
将固定行程环的 4 个螺钉 (1) 拧松。
将固定盘 (2) 与弹簧 (3) 取下。 请确保用于随后重新安装的固定盘 (2) 与弹簧 (3) 的安全。
将两个传感器 (4) 从线缆延长 (6) 的连接器 (5) 中拔出。
取下行程环。
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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拆除 8" 行程环的传感器
两个传感器固定在 8" 晶圆支撑的行程环上。 需将这些传感器拆下，以用于随后 8" 行程环的重新
安装。 就 12" 晶圆支撑而言，这两个传感器通过所提供的支架安装到了 SWS 的晶圆支撑上。
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图 6.3 - 10 晶圆支撑 - 已取下的 8" 行程环
将安装在传感器上方的热保护板拆下。
将两个传感器 (1) 从行程环的装配支架上拆下。
取下两个传感器并将其安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架上。
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