00198373-01_UM_SWS-ZH - 第124页
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 124 拆除 8" 行程环的传感器 两个传感器固定在 8" 晶圆支撑的行程环上。 需将这些传感器 拆下，以用于随后 8" 行程环的重新 安装。 就 12" 晶圆支撑而言，这两个 传感器通过所提供的支架安装到了 SWS 的晶圆支撑上。 6 图 6.3 - 10 晶圆支撑 - 已…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
123
取下行程环
您需要更换相关晶圆支撑的行程环。
图 6.3 - 9 晶圆支撑 - 取下行程环
将固定行程环的 4 个螺钉 (1) 拧松。
将固定盘 (2) 与弹簧 (3) 取下。 请确保用于随后重新安装的固定盘 (2) 与弹簧 (3) 的安全。
将两个传感器 (4) 从线缆延长 (6) 的连接器 (5) 中拔出。
取下行程环。
1
1
1
2
3
1
4
4
5
4
5
1
5
6
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
124
拆除 8" 行程环的传感器
两个传感器固定在 8" 晶圆支撑的行程环上。 需将这些传感器拆下，以用于随后 8" 行程环的重新
安装。 就 12" 晶圆支撑而言，这两个传感器通过所提供的支架安装到了 SWS 的晶圆支撑上。
6
图 6.3 - 10 晶圆支撑 - 已取下的 8" 行程环
将安装在传感器上方的热保护板拆下。
将两个传感器 (1) 从行程环的装配支架上拆下。
取下两个传感器并将其安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架上。
1
1
1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
125
将传感器安装在 12" 的装配支架上
6
图 6.3 - 11 晶圆支撑 - 传感器 1
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
6
图 6.3 - 12 晶圆支撑 - 传感器 2
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
将两个传感器 (2) 安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架 (1) 上。
1
2
1
2